光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Q[O[,Rk
一、真空腔室内部及各部件的清理 { B8W>>E
1.腔室内部防护板 gh>'O/9
周期：每月清理一次 M}MXR=X,
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 $\h\, N$y
2.离子源清洗 a/Z >-
周期：50~100小时 R`sU5 :n
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） , g\%P5
B.各个零件进行喷砂，其中： {fW(e?8)
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 E(N?.i-%$
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 7m3|2Qv
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 u?6L.^Op
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 G41 gil6k
3.真空计清理 5R D\XgyN]
周期：六个月清理一次 #
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拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 tp"dho
4.冷泵再生 Ad !=
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周期：一个月 *Y(v!x \L
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二、各计量部件校准 #/!fLU @
1、真空计 hqOy*!8'@
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 rjqQWfShY
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） (:v|(Gn/
A.光源性能检查 jSNUU.lur
周期：50小时一次 S3EM6 `q'
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 t-7^deG'/n
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 WxwSb`U|
B.光学监控系统的稳定性 %6 r MS}
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 IO3` /R-
检查条件： FaS}$-0
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 [^ sv.
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ?`T <
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③测定波长：550nm `D)ay
C.波长精确度及再现性 it V@U
周期：2年一次 C Za Urr
合格标准 (s`oJ LW>
波长精确度 ±1.0 nm yM}b
波长再现度 ±0.25 nm
