光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 MtO A A
一、真空腔室内部及各部件的清理 v ?@Ys+V
1.腔室内部防护板 ^T\JFzV
周期：每月清理一次 : w_J/k5Zd
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 m Nw|S*C
2.离子源清洗 & i|x2;
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周期：50~100小时 ~ ar8e
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） L+Q"z*W
B.各个零件进行喷砂，其中： jYKs| J)[
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 btb-MSkO
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 +) 2c\1
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ^! ^8]u<Q
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 +s&+G![
3.真空计清理 (1\!6
周期：六个月清理一次 cw#p!mOi~
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Mj5=t:MI
4.冷泵再生 -)@DH;[tb
周期：一个月 w#_xV
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二、各计量部件校准 88Yp0T<1
1、真空计 R:YX{Tq
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 _5#f9,m1
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） K' N`rx.7
A.光源性能检查 EOhUr=5~
周期：50小时一次 !pl<
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 B]]_rl,
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 /Kb7#uq
B.光学监控系统的稳定性 ~]?Q 'ER
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ^.jIus5
检查条件： YhFB*D;
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ;<0Q<0G
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 y]eH@:MJ;A
③测定波长：550nm Fs_V3i3|L
C.波长精确度及再现性 dUeM+ (s1
周期：2年一次 +g ovnx
合格标准 LoUi Yf
波长精确度 ±1.0 nm esmQ \QQ^1
波长再现度 ±0.25 nm
