光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 y; < }`
一、真空腔室内部及各部件的清理 q0vZR"y
1.腔室内部防护板 Y(?SE< 4R
周期：每月清理一次 xpwy% uo
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 e:.?T \
2.离子源清洗 &uBf sa$
周期：50~100小时 oJ" D5d,
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） lq, ]E/<&
B.各个零件进行喷砂，其中： IX<9_q
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 8ZCA
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 '^[+]
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 &1 `Y&x:p
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 v.u 5%
3.真空计清理 hH%fWB2(
周期：六个月清理一次 +qT+iHa| n
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 |Sua4~yL(
4.冷泵再生 8_S| 8RW(
周期：一个月 ];b+f@
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二、各计量部件校准 `R.Pz _oe
1、真空计 ('\sUZ+5
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 j?k| -0
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） g)|vS>^~
A.光源性能检查 Rr[Wka9[
周期：50小时一次 tXZMr
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 A^LS^!Jz
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 wrX n|aV
B.光学监控系统的稳定性 PCV#O63[
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 *W>, 98
检查条件： ;v X1U8
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 gjX1 z{{~L
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 T.-tV[2
③测定波长：550nm S'NLj(
C.波长精确度及再现性 WpnP^gmX
周期：2年一次 Ck" db30.
合格标准 C+5X8
波长精确度 ±1.0 nm WXDo`_{R
波长再现度 ±0.25 nm
