光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 lW6$v*
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一、真空腔室内部及各部件的清理 P-]u&m/6
1.腔室内部防护板 f(SK[+aqW
周期：每月清理一次 b} <?& @
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 = 2 J^
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2.离子源清洗 FqwH:Fcr:
周期：50~100小时 I) ]"`2w2w
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） :}0>IPW-V
B.各个零件进行喷砂，其中： VB&` S+-
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 h[*:\P `
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 e2F{} N
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 HAKB@h)
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 sx1w5rj.Y0
3.真空计清理 (Y!{ UNq5
周期：六个月清理一次 ag02=}Q'r
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 "Sb<"$ :
4.冷泵再生 -F7P$/9
周期：一个月 lD9QS ;
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二、各计量部件校准 O
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1、真空计 ' Bx"i
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 ^7l+ Of b3
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） vCX
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A.光源性能检查 >}H3V ]
周期：50小时一次 yt+d
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 _<^mi!Y
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Wd >gOE
B.光学监控系统的稳定性 X+7@8)1(
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 nG4}8
检查条件： (/ $a*$
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 Q'~3Ik
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ]iezwz`'
③测定波长：550nm WJU[ +|J
C.波长精确度及再现性 }Gf9.ACQ
周期：2年一次 %LjhK,'h
合格标准 s:zz 8oN
波长精确度 ±1.0 nm sD=iHO
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波长再现度 ±0.25 nm
