光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 4,gK[ d c
一、真空腔室内部及各部件的清理
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1.腔室内部防护板 &L Zn
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周期：每月清理一次 jaMjZp;{(
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 f:|1_ j
2.离子源清洗 zFw s:_ i
周期：50~100小时 (G4at2YLd
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 4n g]\ituS
B.各个零件进行喷砂，其中： YPK(be_|I
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 G m.T;fc:
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 L<-_1!wh
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ;jvBF4Lb>
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ]kRfB:4ED
3.真空计清理 {9;CNsd
周期：六个月清理一次 = eXU@B
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 a85$K$b>
4.冷泵再生 (\hx` Yh=>
周期：一个月 [{<`o5qR
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二、各计量部件校准 b v r^zH,C
1、真空计 FR4QUk
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 ukfQ e }I
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） #Z`q+@@ ]A
A.光源性能检查
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周期：50小时一次 zrL$]Oy}x
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 m}aB?+i
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 kmsb hYM)
B.光学监控系统的稳定性 A gg<tM{yB
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 aS{n8P6vW
检查条件： AJ? r,!)
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 EZy)A$|
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 +]A:M6P:{v
③测定波长：550nm n E& @Q
C.波长精确度及再现性 "9P>a=Y
周期：2年一次 6?mibvK
合格标准 '4Ixqb+
波长精确度 ±1.0 nm '}JhzKNj
波长再现度 ±0.25 nm
