光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 6[h$r/GXh"
一、真空腔室内部及各部件的清理 v yLAs;
1.腔室内部防护板 -z 5k4Y
周期：每月清理一次 nM.?Q}yO~
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 yDyeP{
2.离子源清洗 C94UF7al
周期：50~100小时 eZod}~J8
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ^.1VhTB
B.各个零件进行喷砂，其中： Fee WZe0i
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 x^O2Lj,w\
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 6[|<
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 s^?sJUj
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 >eTgP._
3.真空计清理 q>:&xR"ra
周期：六个月清理一次 7CL@i L Tq
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 HJ1\FO9\
4.冷泵再生 hCvLwZ?LF
周期：一个月 2au(8IWu
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二、各计量部件校准 j% USu+&
1、真空计 pdha" EV
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 9"lW"lG!
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） c)!s[o L
A.光源性能检查 yqb <<4I
周期：50小时一次 9PGR#!!F$
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 "gikX/Co=
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 -zLI!F 0
B.光学监控系统的稳定性 F4<2.V)#-
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 wYMX1=
检查条件： ?| LB:8
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 /^eemx
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 G{Enh<V
③测定波长：550nm 9c % Tv
C.波长精确度及再现性 1LIV/l^}f
周期：2年一次 RrpF i'R
合格标准 kBT}Siw
波长精确度 ±1.0 nm A}Dpw[Q2@8
波长再现度 ±0.25 nm
