光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 b 6M)qt9R
一、真空腔室内部及各部件的清理 3\~fe/z'I
1.腔室内部防护板 T7nX8{l[RG
周期：每月清理一次 : v ~ q
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 pY5HW2TsY|
2.离子源清洗 (j
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周期：50~100小时 weadY,-H8
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） < g1hdF0
B.各个零件进行喷砂，其中： on&=%tCAL
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 rSCX$ @@F
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 X(q=,^Mp
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 qCT \rZU
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 *J5euA5=
3.真空计清理 4gt "dfy+
周期：六个月清理一次 3sIM7WD?
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 iz5wUye g
4.冷泵再生 TTak[e&j3
周期：一个月 `r$WInsDu
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二、各计量部件校准 AdW7 vn
1、真空计 &Y2P! \\2
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 m)w- mc
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） RxG./GY
A.光源性能检查 OvG |=
周期：50小时一次 y{P9k8v!z
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 HBGA
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 UHHKI)(
B.光学监控系统的稳定性 70(?X/5#
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 =xP{f<`
检查条件： mQuaO#
I,
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 4'| :SyOm
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 "$YLU}S9
③测定波长：550nm ;g9:0,xT4
C.波长精确度及再现性 <Wq{ V;$
周期：2年一次 Bq`kVfx
合格标准 Jtk(yp{Zz
波长精确度 ±1.0 nm Lxrn# Z eM
波长再现度 ±0.25 nm
