光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 W ulyM cJ
一、真空腔室内部及各部件的清理 :Q ]"d bY^
1.腔室内部防护板 [3nWxFz$R
周期：每月清理一次 C c: <F_UI
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 dpylJ2
2.离子源清洗 vO~ Tx
周期：50~100小时 +qC [ X~\
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） =r7!QXPH}
B.各个零件进行喷砂，其中： -`* 'p i
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 9 i/
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 <<A#4!f
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 !U m9ceK
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 6uFw+Ya#
3.真空计清理 83 t/ \x,Q
周期：六个月清理一次 P~ =yT W
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 /:(A9b-B
4.冷泵再生 Z_ m<x!
周期：一个月 !3 Pmjip
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二、各计量部件校准 p'2IlQ\
1、真空计 jga \Ry=nw
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） EGQgrw Y5
A.光源性能检查 It&CM,=t
周期：50小时一次 %
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 \WE&5
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 B\)Te9k'
B.光学监控系统的稳定性 $m2#oI 'D
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 n{sk
检查条件： 4Zwbu
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 e7xBi!I)~
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 |`#fX (=
③测定波长：550nm 3J
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C.波长精确度及再现性 DlE, aYB
周期：2年一次 I@/
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合格标准 pQ:^ ziwa3
波长精确度 ±1.0 nm .G!xc Q`?
波长再现度 ±0.25 nm
