光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Ohl} X 1
一、真空腔室内部及各部件的清理 {Iy7.c8S
1.腔室内部防护板 =sQ(iso%f
周期：每月清理一次 2/tb6' =
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 I{dl% z73
2.离子源清洗 BV9 *s
周期：50~100小时 \T q "mw9P
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） $cK^23H/Fj
B.各个零件进行喷砂，其中： Vdvx"s[`m
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 p[ YWSjf
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 I^fP k
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 6tOi^+qN
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Mr 6E/7g%
3.真空计清理 s!h5hwBY
周期：六个月清理一次 -
8syjKTg
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 3kLOoL?
4.冷泵再生 Riql,g/
周期：一个月 ZBj6KqfST%
hU,$|_WDy
二、各计量部件校准 uFe'$vI
1、真空计 PN\V[#nS
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 e?)yb^7K
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ida*]+ ~
A.光源性能检查 ^\YQ_/\~L
周期：50小时一次 N^@
\tg =
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 K<,Y^ 3]6?
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Q=.g1$LP
B.光学监控系统的稳定性 0^>E`/
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Za\RM[Z!I
检查条件： d5, FM
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 3@X|Gs'_S
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 nx :)k-p_[
③测定波长：550nm R+^z y"~
C.波长精确度及再现性 Xr2J:1pgg
周期：2年一次 `9EVB;
合格标准 P`!Ak@N
波长精确度 ±1.0 nm t/Z!O
z6ZE
波长再现度 ±0.25 nm
