光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Ailq, c
一、真空腔室内部及各部件的清理 J8ni}\f
1.腔室内部防护板 GppCrQ%Ra|
周期：每月清理一次 P9v(5Z00|d
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 2 bc&sU)X
2.离子源清洗 x,B] J4
周期：50~100小时 [WwoGg*)mn
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） K_i|cYGV
B.各个零件进行喷砂，其中： RQVu~7d[
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 pMfb(D"
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 u`MM K4 %
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 EPm~@8@"j?
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 C'6I< YX
3.真空计清理 >pq~ &)^u
周期：六个月清理一次 J1w;m/oV
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 wgl <JO
4.冷泵再生 8>KUx]AN
周期：一个月 qTsy'y;Z
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二、各计量部件校准 %>+uEjbT
1、真空计 (_FU3ZW!
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 &Ok1j0~~
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） { _9O4 +
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A.光源性能检查 gInh+XZs
周期：50小时一次 mx Nd_{n
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 zWY988fX0
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ,54z9F`
B.光学监控系统的稳定性 QLqtE;;)JK
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 "O34 E?ql.
检查条件： !XP jRd q
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 M2Q,&>M
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 |UTajEL
③测定波长：550nm Af 3 |l
C.波长精确度及再现性 @*z"Hi>4
周期：2年一次 IO)B3,g
合格标准 P6+ B!pY
波长精确度 ±1.0 nm *HoRYCL
波长再现度 ±0.25 nm
