光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 X{ f#kB]w
一、真空腔室内部及各部件的清理 2k M;7:
1.腔室内部防护板 pYz\GSd
周期：每月清理一次 )6*)u/x:
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 1h#e-Oyff
2.离子源清洗 S(PU"}vZy
周期：50~100小时 lw=!v%L
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） >,a$) z
B.各个零件进行喷砂，其中： F}c}I8Ao
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 'nN'bVl/
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 nR8r$2B+t
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 f f5 e]^,
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Y+ !z]S/x
3.真空计清理 Z7dyP R
周期：六个月清理一次 c0QKx=
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Hv-f :P O
4.冷泵再生 ;VS$xnZ
周期：一个月 G_S2 Q @|Q
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二、各计量部件校准 8c%_R23
1、真空计 5+[ 3@
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 `Ha<t. v(
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） dU&hM<.|
A.光源性能检查 \S0QZQbz/
周期：50小时一次 xjh(;S'
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 11?d,6Jl
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 $7*@T MX
B.光学监控系统的稳定性 97vQM
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 om2)Cd9~7
检查条件： <+_WMSf;4
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 Yht |^ =a
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 `X%Qt ~
③测定波长：550nm L~E|c/
C.波长精确度及再现性 _*+ +xF1
周期：2年一次 o u=33}uO
合格标准 a/x nf<(H
波长精确度 ±1.0 nm ''H;/&nDX
波长再现度 ±0.25 nm
