光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Ve\P ,.
一、真空腔室内部及各部件的清理 Mt(;7q@1c
1.腔室内部防护板 Y
j*Y*LB~
周期：每月清理一次 pL{ :8Ed
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 `'/1Ij+
2.离子源清洗 uE,j$d
周期：50~100小时 B3V+/o6
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） tcj3x<
B.各个零件进行喷砂，其中： 8jU6N*p/
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 2p8}6y:}7
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ^TCfj^FP
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 N##-
vV
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 >D*%1LH~V
3.真空计清理 Ox"SQ`nSj'
周期：六个月清理一次 &%` 0&y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 !i?aRI/6
4.冷泵再生 c:_dW;MJ0
周期：一个月 9l:v Vp7Uk
>I;J!{
二、各计量部件校准 _:?b -44
1、真空计 teg[l-R"7z
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 x.aqy'/ `
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 5tm:|.`SQ
A.光源性能检查 -owap -Va
周期：50小时一次 dZ'H'm;,!
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 YfU 6 mQ
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 #=aT Sw X
B.光学监控系统的稳定性 PZ O8< d
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 6gJc ?+
检查条件： mA0|W#NB
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 x_. }C%
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Qe1WT T]:I
③测定波长：550nm I"r[4>>B>0
C.波长精确度及再现性 WO"<s{v
周期：2年一次 g2W ZW#a)
合格标准 Tlz~o[`&
波长精确度 ±1.0 nm ,ko0XQBl
波长再现度 ±0.25 nm
