光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Gv G8s6IZ
一、真空腔室内部及各部件的清理 w^
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1.腔室内部防护板 n
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周期：每月清理一次 = E]tEi
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 tt2
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2.离子源清洗 7F0J* M
周期：50~100小时 0Zwx3[bq6K
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） c`\/]
B.各个零件进行喷砂，其中： G .<0^q,
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 1}Q9y `65
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 =|aZNHqH
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ()Kaxcs?+
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ru2M"]T
3.真空计清理 xBc|rqge
周期：六个月清理一次 M^Z=~512g
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 -.?
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4.冷泵再生 Cy uRj[;B
周期：一个月 '}(>s%~
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二、各计量部件校准 c8[kL$b;j
1、真空计 dR.?Kv(,E
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Mz(?_7
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） )' f =!'X
A.光源性能检查 ejyx[CF
周期：50小时一次 j>;1jzr2}
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 (nq""kO6'
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 s<# BxN
B.光学监控系统的稳定性 G \MeJSt*
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 tjRw bnT"
检查条件： *j]Bo,A C
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 qGH [kd
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 %G 2g
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③测定波长：550nm $t ^Td<
C.波长精确度及再现性 TA/hj>rV
周期：2年一次 H
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合格标准 *5oQZ".vA*
波长精确度 ±1.0 nm n:wAxU
波长再现度 ±0.25 nm
