光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 > ) ^ !gz8
一、真空腔室内部及各部件的清理 ZqGq%8\.s
1.腔室内部防护板 OWkK] O
周期：每月清理一次 = @f;s<v/
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 @'y"D
2.离子源清洗 _[7uLWyC9
周期：50~100小时 Q&LkST-i
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） <Jk|Bmw;
B.各个零件进行喷砂，其中： 5f5`7uVJF
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 j?(QieBH
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ~!OjdE!u
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 oAx0$]+%V)
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 RinRQd
3.真空计清理 w?C \YKF7
周期：六个月清理一次 KP(Bu0S
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 >j?uI6Uw
4.冷泵再生 dd+).*
周期：一个月 XDGZqk t
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二、各计量部件校准 a`uT'g[*
1、真空计 /_|1,x-Kx
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 A!~ o?ej
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） xl^'U/
A.光源性能检查 `xr%LsNn
周期：50小时一次 fYi!Z/Ck2
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 VGq]id{*$
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 C AA~VEUL
B.光学监控系统的稳定性 Mg$Z^v |}0
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 A0ToX) |C
检查条件： Z0=OR^HjA
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ao!r6:&v$e
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 IY&a!
③测定波长：550nm qr 9 F
C.波长精确度及再现性 >>r:L3 <!
周期：2年一次 `dZ| }4[1
合格标准 $%-?S ]6)
波长精确度 ±1.0 nm DvCt^ O*
波长再现度 ±0.25 nm
