光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ijYSYX@
一、真空腔室内部及各部件的清理 [-@Lbu-|
1.腔室内部防护板 vM}oxhQ$n
周期：每月清理一次 Dl3Df u8
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 | Wrf|%p
2.离子源清洗 !V =s^8nj
周期：50~100小时 az (u=}
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） /CtR|~ w L
B.各个零件进行喷砂，其中： D/CSR= b
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 r+BPz%wM=O
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 OG_2k3v
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 @x>J-Owd]J
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 &b 2Vt
3.真空计清理 `]^JOw5o
周期：六个月清理一次 NhxTSyT"t
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 %2<G3]6^U
4.冷泵再生 3B(6^iS
周期：一个月 o )P'H"Ki
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二、各计量部件校准 29?{QJb
1、真空计 i By:HH
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 FuNc#n>
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） nQc ]f*
A.光源性能检查 Xi'y-cV
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周期：50小时一次 R}Ih~zw
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 zR'lQ<u
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。
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B.光学监控系统的稳定性 Q']
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合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ?~e 8:/@
检查条件： h sVf/%
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 \c& %F=1+*
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ZGHkW9b&
③测定波长：550nm 2 $^n@<uZ@
C.波长精确度及再现性 . `84Y
周期：2年一次 *dn~-W.
合格标准 .0:t wj
波长精确度 ±1.0 nm &46h!g W
波长再现度 ±0.25 nm
