光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 8m-U){r!U^
一、真空腔室内部及各部件的清理 /Gd=n
1.腔室内部防护板 bp*
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周期：每月清理一次 APvDP?
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 nL5cK:
2.离子源清洗 Z?6%;n^ 54
周期：50~100小时 = i$Fl{vH
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） | z9*GY6RU
B.各个零件进行喷砂，其中： . k#U]M
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 $|L
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 2y//'3[
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 V\>K]mwD
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 y`VyQ WW
3.真空计清理 Jb0` 42
周期：六个月清理一次 bn#"?6Z2
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ? E 1<!~
4.冷泵再生 -z-C*%~
周期：一个月 J*r *X.
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二、各计量部件校准 eX?OYDDC0j
1、真空计 \MA+f~)9
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 %>yG+Od5 Z
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ]_Vx {oT7
A.光源性能检查 q_Q/3rh
周期：50小时一次 4;w;'3zq
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 /sUY U (3
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 x u>9(,l
B.光学监控系统的稳定性 9Z|jx y
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 s(5Y
检查条件： hcgMZT!<5
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 O@tU.5*$5
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ,-$LmECg
③测定波长：550nm |WQBD B`W
C.波长精确度及再现性 a+[RS]le
周期：2年一次 ; ^*}#X d
合格标准 u#Pa7_zBj]
波长精确度 ±1.0 nm RU'=ERYC
波长再现度 ±0.25 nm
