光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 !|(NgzDP/
一、真空腔室内部及各部件的清理 bH~dJFj/
1.腔室内部防护板 ms]sD3z/W+
周期：每月清理一次 ]a`$LW}
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Zy/_
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2.离子源清洗 %ET+iIhK
周期：50~100小时 >[#f\bG>
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） fJg+ Ryo
B.各个零件进行喷砂，其中： 2+XA X: YD
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 "y}5;9#,
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Dd| VMW=
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 9* M,R ,y
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 z{QqY.Gu{G
3.真空计清理 TLH1>pY&
周期：六个月清理一次 a7opC mL
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 g_bLl)g<
4.冷泵再生 'g\4O3&_
周期：一个月 _[BP 0\dPW
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二、各计量部件校准 Pq$n5fZC !
1、真空计 jP. dD Yc
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 XiWmV ?
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） %|oym.-I6
A.光源性能检查 f o3}W^0
周期：50小时一次 "{t$ nVJ
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 $`8wJf9@w
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 sI2^Qp@O1
B.光学监控系统的稳定性 c:('W16
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 6 u6 x
检查条件： .%-8 t{dt
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。
Hl=xW/%6y
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 *-X[u:
③测定波长：550nm 53 h0UL
C.波长精确度及再现性 dE3) | %
周期：2年一次 ; tf=gdX;
合格标准 HzJz+ x:
波长精确度 ±1.0 nm 6A ah9
波长再现度 ±0.25 nm
