光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 6!*K/2:O
一、真空腔室内部及各部件的清理 j6` 6+W=S(
1.腔室内部防护板 [0K=I6 4
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周期：每月清理一次 ,xYg
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 #g,H("Qy({
2.离子源清洗 x<8\-
周期：50~100小时 &q.)2o#Q.
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 3QH(4N
B.各个零件进行喷砂，其中： 3)dP7rmZ
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 HS7R lU^
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 L+_8QK <
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 r~ I.F!{
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 c qv .dC
3.真空计清理 Sz RL}} I
周期：六个月清理一次 p#)e:/Qy
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 %?@x]B9Y8E
4.冷泵再生 Md Lj,1_T
周期：一个月 tAaYL
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二、各计量部件校准 =+`D
1、真空计 D4d]3|/T
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 |n)<4%i8J
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） #sL/y
A.光源性能检查 0(\p<q q
周期：50小时一次 R;%^j=Q
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 5qGGu.$Ihi
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 =<Hy"4+?.
B.光学监控系统的稳定性 se!g4XEWD
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 *JwFD^<j
检查条件： 6F,/ w:
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ]Uu
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②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 r;9z 5'
③测定波长：550nm f7.m=lbe
C.波长精确度及再现性 o94P I*.
周期：2年一次 Sq<3Rw
合格标准 |%-YuD
波长精确度 ±1.0 nm cFw3Iw"JJ
波长再现度 ±0.25 nm
