光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 mLeK7?GL
一、真空腔室内部及各部件的清理 ){i
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1.腔室内部防护板 Qb1hk*$=
周期：每月清理一次 [Kanj/
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 kAk+ Sq^n
2.离子源清洗
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周期：50~100小时 U#n1N7P|$F
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ?w "zW6U
B.各个零件进行喷砂，其中： , *Z!Bd8
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 5q.)K
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 @w[HXb
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 EYKV}`
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ?xCWg.#l4V
3.真空计清理 <a%RKjQvT
周期：六个月清理一次 O>2i)M-h9x
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ,y*|f0&"~
4.冷泵再生 Ne2eBmY}(
周期：一个月 - xU4s
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二、各计量部件校准 ~fF;GtP
1、真空计 69{q*qCW
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 HY7#z2L
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） IdWFG?b3
A.光源性能检查 q{+Pf/M5
周期：50小时一次 #uH% J<U
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Z[zRZ2'i5
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 T
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B.光学监控系统的稳定性 &\M<>>IB
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 rW0-XLbL5H
检查条件： :0j_I\L
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 @L 5s.]vg=
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 # qdfr3
③测定波长：550nm xU;;@9X
C.波长精确度及再现性 IkJ-*vI6
周期：2年一次 {3 *Zx"e
