光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 A# Ne 07d
一、真空腔室内部及各部件的清理 ^
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1.腔室内部防护板
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周期：每月清理一次 , ePl>m:Z
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 P&5k O;ia
2.离子源清洗 EPd
周期：50~100小时 NT;cTa=;
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） fX{Xw0
B.各个零件进行喷砂，其中： vu|-}v?:
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 0T.kwZ8
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 a K?PK }@
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 q"Th\? }%
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ufvjW]
3.真空计清理 Qv;q*4_
周期：六个月清理一次 o|Kd\<r Y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 bu,xIT ^
4.冷泵再生 b:(t22m#?
周期：一个月 Hd89./v`:
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二、各计量部件校准
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1、真空计 w"
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 u]MQ(@HHF
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） -muP.h/
A.光源性能检查 #8r1<`']!
周期：50小时一次 8)XAdAr
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 I]6,hygs
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \e' oAhM
B.光学监控系统的稳定性 d: JP935
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 fR#W#n#m
检查条件： j5MUP&/g3
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 <|1Kh ygv
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 | u_f VQj
③测定波长：550nm Z=9gok\
C.波长精确度及再现性 EqF>=5*
周期：2年一次 K8{ef
合格标准 9=. 7[-6i9
波长精确度 ±1.0 nm :Ny^-4-N
波长再现度 ±0.25 nm
