光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Y| F~w~Cb
一、真空腔室内部及各部件的清理 )'axJ
1.腔室内部防护板 ) t$o0!
周期：每月清理一次 b%UbTb,
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 dC 8,
2.离子源清洗 crr#tad.
周期：50~100小时 8'0I$Qa4
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） q#P@,|nc:
B.各个零件进行喷砂，其中： })5I/
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Jm]P,jaLc
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 G!5~`v
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 xt X`3 =s
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 0GMov]W?i
3.真空计清理 [> L L
周期：六个月清理一次 E)Cdw%}^
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 1\%2@NR
4.冷泵再生 lVo}DFZ
周期：一个月 ]}>uvl^l
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二、各计量部件校准 t4r%EP|Zt
1、真空计 i'uSu8$'*
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 @ wx
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Yjh02wo
A.光源性能检查 #A9rI;"XI
周期：50小时一次 9"b =W@
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ko`.nSZ-k
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 iJ!p9E*(
B.光学监控系统的稳定性 %%hG],w
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 dNT<
