光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 (q59cA w~X
一、真空腔室内部及各部件的清理 JZNRM xu
1.腔室内部防护板 <[@AMd S
周期：每月清理一次 <xKer<D
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 a"EX<6"
2.离子源清洗 mFw`LvH?*
周期：50~100小时 "9jt2@<
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） <k N4@bd;
B.各个零件进行喷砂，其中： -hiG8%l5
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 P
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 T@GT=1E)
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 c3W 9"
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 WUm8 3"
3.真空计清理 W,9. z%
周期：六个月清理一次 yl/-!
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 \1ca y#X
4.冷泵再生 }><Vc ouJ[
周期：一个月 :hr % 6K7
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二、各计量部件校准 7g8}]\i+
1、真空计 0}C> e`<'
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 [KR|m,QWp
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） m-Q!V+XQp
A.光源性能检查 ec Dni>W
周期：50小时一次 {+%|n OWV
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 >?aPX C
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 2$ ?bLvk
B.光学监控系统的稳定性 b;G3&R]
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 0tyoH3o/d
检查条件： _&)^a)Nu
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ]r GZ
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 :,Z'/e0&
③测定波长：550nm "HX,RJ
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C.波长精确度及再现性 _uwM%M ;
周期：2年一次 Yef=HS zo
合格标准 }% Mj`Bh
波长精确度 ±1.0 nm - < D7
波长再现度 ±0.25 nm
