光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 u=& $Z
一、真空腔室内部及各部件的清理 (F'?c1
1.腔室内部防护板 3Nk
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周期：每月清理一次 WS2@;
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 YnW,6U['{g
2.离子源清洗 I^!c1S
周期：50~100小时 s,]z6L0
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） eGi|S'L'
B.各个零件进行喷砂，其中： ?RU_ SCp-
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 XE?,)8
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 $##LSTA
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 "J*L R
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 2/RW( U
3.真空计清理 AN4(]_ ]
周期：六个月清理一次 Rq,Fp/
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 e\WG-zi/
4.冷泵再生 V2BsvR`
周期：一个月 R*>EbOuI
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二、各计量部件校准 0JX/@LNg0
1、真空计 V< 0 J j
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 U'Fc\M5l/l
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） jU_#-< 'r
A.光源性能检查 g <5G#
周期：50小时一次 g0 Jy:`M
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 H RW }Yl
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 >|_B=<!99W
B.光学监控系统的稳定性 6M X4h
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 =(W l'iG
检查条件： y3!#*NU
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 D}L 4uz?
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ;7bY>zc(w
③测定波长：550nm n_1,-(t
C.波长精确度及再现性 /V
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周期：2年一次 @j+X>TD
合格标准 .tt= \R
波长精确度 ±1.0 nm &T[BS;
波长再现度 ±0.25 nm
