光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 'QIqBU'~
一、真空腔室内部及各部件的清理 0^ibNiSP
1.腔室内部防护板 wf $s*|z
周期：每月清理一次 Rh |nP&6
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 V>
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2.离子源清洗 eY\y E"3
周期：50~100小时 p$>l7?h
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ]7mt[2 Cd
B.各个零件进行喷砂，其中： 4e1Y/
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ]tDDq=+v
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 h} EPnC}
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Lk$B{2^n
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 9E tz[`|
3.真空计清理 O<\@~U
周期：六个月清理一次 \15nS B
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 YF:L)0H'O
4.冷泵再生 c=+!>Z&i$G
周期：一个月 ^VACf|0
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二、各计量部件校准 F/A|(AH'
1、真空计 veRm2 LSP
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 l (%1jC8
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 3 t6 LT
A.光源性能检查 F: l%O#V
周期：50小时一次 M xG W(p
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 hG:|9Sol,
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 7` YEH2
B.光学监控系统的稳定性 =>dG L|
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 $pudoAO
检查条件： 0AV c
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 e,5C8Q`Z
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 U3:j'Su4H?
③测定波长：550nm 6i*sm.SDw
C.波长精确度及再现性 'Qo*y %{@5
周期：2年一次 B~du-Z22IZ
合格标准 XS BA $y
波长精确度 ±1.0 nm ))i }7 chc
波长再现度 ±0.25 nm
