光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 *H*\gaSh
一、真空腔室内部及各部件的清理 uQ1jwYK`7
1.腔室内部防护板 ^H'kH l'F
周期：每月清理一次 f !!P
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 |D(&w+(
2.离子源清洗 "OJr*B
周期：50~100小时 `vX4! @Tw
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ^Fvr
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B.各个零件进行喷砂，其中： $kv[iI @
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 qZ?{-V w
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 kxy]vH6m
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 jMqx
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 I4ct xMVP
3.真空计清理 1gk0l'.z
周期：六个月清理一次 fO+U HSC
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 & q L<C
4.冷泵再生 _Z.;u0Zp8
周期：一个月 ;"SZ}
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二、各计量部件校准 4JSZ0: O
1、真空计 S|) J{~QH
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 R( Gm U4
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） |Z!@'YB
A.光源性能检查 BDp:9yau
周期：50小时一次 R9q0,yQW
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 %A=|'6)k2
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 )1K! [ W}t
B.光学监控系统的稳定性 -O /T?H
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 bkkSIl+Q
检查条件： pd 7O`.3
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 >*{:l,LH
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 HoV{U zm
③测定波长：550nm ]*a@*0=
C.波长精确度及再现性 &p )@8HY
周期：2年一次 Tfr`?:yF
合格标准 W1;=J^<&1
波长精确度 ±1.0 nm Pm;I3r=R\
波长再现度 ±0.25 nm
