光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 10 ^=1@U
一、真空腔室内部及各部件的清理 /2q%'"x(
1.腔室内部防护板 7Cjrh "al"
周期：每月清理一次 |/$#G0X; H
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 7;{F"/A
2.离子源清洗 tA.C"
周期：50~100小时 #'P&L>6
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） _6( =0::x
B.各个零件进行喷砂，其中： O(!'V~3
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 XRkqMq%
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 !;-x]_
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 "mA/:8` Q
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 P+a&R<Dj4
3.真空计清理 >qla,}x
周期：六个月清理一次 Q@R8qc=*
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 dWA7U 6c<
4.冷泵再生 78wcMQNX9
周期：一个月 kQ+5p Fo3
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二、各计量部件校准 @z.!Dby
1、真空计 <V{BRRx
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 M-_)CR
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） #<{MtK_
A.光源性能检查 n $QFj'
周期：50小时一次 whshjl?a
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 1mqFnVkf&+
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ,ic}
B.光学监控系统的稳定性 ,7aqrg
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 #@ G2n@Hj
检查条件： Sl1N V
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 qyto`n7
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 eYFCf;
③测定波长：550nm {#MViBhd%
C.波长精确度及再现性 d hy= x
周期：2年一次 We|*s2!
合格标准 O1A*-G:X
波长精确度 ±1.0 nm 6tM{cK%v1
波长再现度 ±0.25 nm
