光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 <;q)V%IUz
一、真空腔室内部及各部件的清理 lfe^_`ij(+
1.腔室内部防护板 _>/OqYR_jQ
周期：每月清理一次 <xaB$}R
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 w rEYbb
2.离子源清洗 |>Wi5h{6X
周期：50~100小时 ;_D5]kl`
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） IfF&QBi
B.各个零件进行喷砂，其中： oh%/\Xu
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 mF@D O$
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 | X0Ys8f
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 'k!V!wcD^y
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 qp`G 5bw
3.真空计清理 -) \!@n0
周期：六个月清理一次 aj 6 {
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 fS- 31<?
4.冷泵再生 (IIOVv
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周期：一个月 ;h#nal>w@S
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二、各计量部件校准 L}.V`v{zc
1、真空计 5c+7c@.
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 8+U':xR
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） /u N3"m5i
A.光源性能检查 Rss=ihlM
周期：50小时一次 gA~faje
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 :rX/I LAr
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 K}YOs.
B.光学监控系统的稳定性 &Vi0.o
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 K)n0?Q_>
检查条件： #zv ' N
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 "Qxn}$6-
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 J"O#w BM9
③测定波长：550nm &`A2&mZ
C.波长精确度及再现性 4j
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周期：2年一次 ^"\., Y
合格标准 E a2&7
波长精确度 ±1.0 nm (!&g (l;
波长再现度 ±0.25 nm
