光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Hlg Q0qb
一、真空腔室内部及各部件的清理 4H\+vJPM
1.腔室内部防护板 7<ZCeM2x
周期：每月清理一次 ?{Gf'Y}y&
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ;:)?@IuSy
2.离子源清洗 PN&;3z Z
周期：50~100小时 $_P *Bk)
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） j;+!BKWy4
B.各个零件进行喷砂，其中： WO=,NQOw
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 vKvT7Zxc
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 +UTs2*H/^
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 4Nx] *\\
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 %!;6h^@
3.真空计清理 t LzX L *
周期：六个月清理一次 DE^ @b+6
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ~!Q\\_
4.冷泵再生 - #ta/*TT:
周期：一个月 mq(*4KFWJ2
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二、各计量部件校准 Dm.tYG
1、真空计 lVmm`q6n9
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 j cT
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） )G">7cg;t
A.光源性能检查 iq!u}# x_
周期：50小时一次 dGr m1w
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Fojs I<
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \D]H>i$
B.光学监控系统的稳定性 '#fwNbD
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ~/B[;#
检查条件： )|` # BC
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 pM^r8kIH
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 re `B fN
③测定波长：550nm u\J YxNj1
C.波长精确度及再现性 NzP5s&,C69
周期：2年一次 *
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合格标准 fs=W(~"
波长精确度 ±1.0 nm H #LlxD)q
波长再现度 ±0.25 nm
