光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 MyAi)Mz~o
一、真空腔室内部及各部件的清理 @)|62Dv /
1.腔室内部防护板 yp_:] R E
周期：每月清理一次 d\D.l^
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ZB<goE g
2.离子源清洗 1Y\g {A "
周期：50~100小时 /J8y[aa
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） z4{ H=
B.各个零件进行喷砂，其中： 591Syyy
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 9:IVSD&"Rf
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 6:#zlKYJ
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 pjWq I 6,
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 MAQkk%6[g
3.真空计清理 4tof[n3us
周期：六个月清理一次 [C9 ->`(`
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 h /@G[5E
4.冷泵再生 tJ i#bg%
周期：一个月 pQ!NhzQ
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二、各计量部件校准 O2-9 Oo@#,
1、真空计 v&D ^N9hy9
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 5iwJdm
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） w: #yu
A.光源性能检查 f3[ gA Y
周期：50小时一次 kR3g, P{L
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 S{7A3
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 (Xi?Y/
B.光学监控系统的稳定性 Zchs/C 9{
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 sjvlnnO
检查条件： ~q5" '
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 T'"aStt 6
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 q
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③测定波长：550nm ( : 4N#p
C.波长精确度及再现性 /Q 8E1 2
周期：2年一次 $0~H ~ -
合格标准 4RGEg; ]S
波长精确度 ±1.0 nm k^:)|Z
波长再现度 ±0.25 nm
