光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 0 gr#<(
一、真空腔室内部及各部件的清理 *2Q x6 9`
1.腔室内部防护板 5K00z?kD2V
周期：每月清理一次 Mm%b8#Fe!
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 cBU@853
2.离子源清洗 =<U'Jtu6'
周期：50~100小时 8},fu3Z
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） `!.c_%m2
B.各个零件进行喷砂，其中： \ $
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 t}gK)"g
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 4}H f"L[ l
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 EI@e p~
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 RMa#z [{0
3.真空计清理 hcQv!!Q"k$
周期：六个月清理一次 SpZmwa #\
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 o+?Ko=vYw
4.冷泵再生 ,62BZyT,T,
周期：一个月 ?{>5IjL)en
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二、各计量部件校准 `(8RK
1、真空计 ]v.Yt/&C{
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 D$SO 6X~
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 4<U6 jB5
A.光源性能检查 Og kb N`
周期：50小时一次 c Qh=Mri]
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 op|x~T hf
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ^7C,GaDsn
B.光学监控系统的稳定性 v9Ez0 :)
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Yq:TW eZ D
检查条件： ;^P0+d^5C
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 =4 W jb
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 \>4x7mF!
③测定波长：550nm iD2>-yf
C.波长精确度及再现性 vo2 T P:
周期：2年一次 #^q@ra
合格标准 >{j uw& Uu
波长精确度 ±1.0 nm ]j< &
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波长再现度 ±0.25 nm
