光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 1d-j_ H`s
一、真空腔室内部及各部件的清理 wl(}F^:/`
1.腔室内部防护板 )x Tp7YnZ;
周期：每月清理一次 S0p]:r ";x
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 QKHm OVh]
2.离子源清洗 Y]P
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周期：50~100小时 17};I 7
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） A3 j>R477A
B.各个零件进行喷砂，其中： i<%(Z[9Lk
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 _$Z46w HmB
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 [nG/>Z]W
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 2.; OHQTE
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ncS^NH(&
3.真空计清理 ixfkMM ,W
周期：六个月清理一次 R `s /^0
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Snh\Fgdz
4.冷泵再生 Of: e 6N
周期：一个月 oZOFZ -<
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二、各计量部件校准 A.z~wu%(
1、真空计 :%!SzI?
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 _ Zb_9&
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 3zh'5qQ
A.光源性能检查 Zz/w>kAG*{
周期：50小时一次 %\ 5y6
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 `o:)PTQNg
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 z|pH>R?:
B.光学监控系统的稳定性 ]=]'*Z%
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 BDB-OJ
检查条件： ",~3 &wx
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 pCpj#+ |_)
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 xFyMg&
③测定波长：550nm U ][.ioc
C.波长精确度及再现性 @ ?e;Jp9
周期：2年一次 IXz ad
合格标准 q )@.f.
波长精确度 ±1.0 nm ,pAMQ5
波长再现度 ±0.25 nm
