光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 7#|NQ=yd
一、真空腔室内部及各部件的清理 <ct {D|mm
1.腔室内部防护板 <db/. A3
周期：每月清理一次 LveqG
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 yxQAO_C
2.离子源清洗 d`nS0Tf'
周期：50~100小时 C X'E+
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） f,a4LF
B.各个零件进行喷砂，其中： $kz5)vj "
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ptq{$Y{_
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 O-2H!58$)
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 {:FITF3o
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 u!`C:C'
3.真空计清理 GRV 9s9^
周期：六个月清理一次 S@"=,Xj M
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 |95/'a*
4.冷泵再生 'IW+"o
周期：一个月 w./EJk KI
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二、各计量部件校准 0j/81Y}p
1、真空计 H62*8y8
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 0 De M
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） IFTW,9hh
A.光源性能检查 CijS=-
周期：50小时一次 uN(~JPAw5
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 }Voh5*$E`
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 x[^A 9
B.光学监控系统的稳定性 83 5Upj>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 # f~a\}$I
检查条件： )?bb]hZg?O
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ;VFr5.*x
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 t5Mo'*j
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③测定波长：550nm yK7>^ p}V
C.波长精确度及再现性 *f#4S_ws`
周期：2年一次 {n {} Y.
合格标准 G\p;
b UF
波长精确度 ±1.0 nm k51s *U6=
波长再现度 ±0.25 nm
