光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 "`S?q G
一、真空腔室内部及各部件的清理 eC 2~&:$L
1.腔室内部防护板 jpXbFWgN
周期：每月清理一次 V\n!?1{kdF
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Bn.R,B0PL
2.离子源清洗 oFt _ yU-
周期：50~100小时 R:'&>.AUw
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） _h,X3P
B.各个零件进行喷砂，其中： %y_pF?2@q
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 x U{0rM"
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 2cS94h
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 D;48VK/Q
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 >#;_Ebl@
3.真空计清理 L*p7|rq$"
周期：六个月清理一次 zLxuxf~4@
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可
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4.冷泵再生 e< 8KZ
周期：一个月 Mx# P
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二、各计量部件校准 sVnq|[ /
1、真空计 Hit )mwfYE
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 xu dZ7
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ^[+2P?^K
A.光源性能检查 8t7r^[T
周期：50小时一次 -I DhK}C&T
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 <
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 T gLr4Ex
B.光学监控系统的稳定性 1j} e2H
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 YO fYa
检查条件： z)eN M}cF
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 <)J@7@!P
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 -EU=R_yg
③测定波长：550nm
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C.波长精确度及再现性 i$:yq. DW
周期：2年一次 / 7a3* a
合格标准 m< ;MOS
波长精确度 ±1.0 nm tp ky
波长再现度 ±0.25 nm
