光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 lEHx/#qt9
一、真空腔室内部及各部件的清理 >`AK'K8{M
1.腔室内部防护板 TaRP MKk
周期：每月清理一次 {' M<dI$
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 EIRDH'[L
2.离子源清洗 /wLBmh1"
周期：50~100小时 `E$vWZq}
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） TLsF c^X
B.各个零件进行喷砂，其中： f8;?WSGyD2
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 D|ceZ <9x
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 d^=)n-!T
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 b&P)J|Fe
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 m54> }
3.真空计清理 pWxk^qhe/
周期：六个月清理一次 'W(u.
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 h r];!.Fv
4.冷泵再生 ^.6yzlY
周期：一个月 ~LS</_N
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二、各计量部件校准 j,.M!q]
1、真空计 K) }1;
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 F-s{#V1=
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） dy_Uh)$$|g
A.光源性能检查 'J OCL0FP
周期：50小时一次 Z{ B
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 w x]?D %l
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 K%dQ; C*?
B.光学监控系统的稳定性 "% Ok3Rvv
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ~3.*b% ,
检查条件： RvAgv[8
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 A^,E~Z!x
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Q` &#u#
③测定波长：550nm MSmr7%g3D
C.波长精确度及再现性 ?+Gt?-! 5q
周期：2年一次 xS 1|t};
合格标准 r,JQR)l0@V
波长精确度 ±1.0 nm Z9DfwWI2nu
波长再现度 ±0.25 nm
