光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 [.[|rnil
一、真空腔室内部及各部件的清理 xJemc3]2
1.腔室内部防护板 piPx8jT`F
周期：每月清理一次 %k8 H'w\
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 E{B8+T:3
2.离子源清洗 KO''B or
周期：50~100小时 t7; ^rk*
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） *F)+- BB
B.各个零件进行喷砂，其中： iI
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Z+EN]02|
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 QswbIP/>:'
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ]?"1FSu-8r
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 1v2pPUH\
3.真空计清理 S9@2-Oc
周期：六个月清理一次 : l&g5
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 9s9_a4t5
4.冷泵再生 |OarE 2
周期：一个月 Ee0}Xv
x } X1
O)
二、各计量部件校准 Q}(D^rGP3
1、真空计 C#3K.0a
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 1:Dm, d;
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） }u9wD08x
A.光源性能检查 G1z0q3< B
周期：50小时一次 u
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 )o\U4t
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 S)L(~ N1
B.光学监控系统的稳定性 |tua*zEsS
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 >^|( AzS
检查条件： RX6s[u Q
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 _ giZ'&l!
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 l+n0=^ Z
③测定波长：550nm
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C.波长精确度及再现性 3^x
C=++
周期：2年一次 p+7ZGB
合格标准 {DVu* %|
波长精确度 ±1.0 nm iM'rl0
波长再现度 ±0.25 nm
