光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 xB.h#x>_`
一、真空腔室内部及各部件的清理 :mOHR&2xR%
1.腔室内部防护板 .8[Uk^q
周期：每月清理一次 ;Oh abbj*
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 c*iZ6j"iI
2.离子源清洗 eAvOT$
周期：50~100小时 C9+`sFau@
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） )<Cf,R
B.各个零件进行喷砂，其中： ~ti{na4W<
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ``
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 !yxb =>A
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 dw6U}
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 lN@SfM4 \
3.真空计清理 ZcT%H*Ib]9
周期：六个月清理一次 ?"23X Ke
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 <~wr;"S
4.冷泵再生 j2\B(PA
周期：一个月 9Rz TC
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二、各计量部件校准 WKjE^u
1、真空计 TCb 7-s
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 8HL$y-F
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ?f}lYQzM
A.光源性能检查 S(bYN[U
周期：50小时一次 s+9q`k^
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 W+F{!d W
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 f9 R~RRz
B.光学监控系统的稳定性 x}acxu 2H7
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 '! $g<= @
检查条件： #2&DDy)B f
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ?_hKhn%K9
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Q7<_> )e^
③测定波长：550nm fV}: eEo|Y
C.波长精确度及再现性 H);O. m
周期：2年一次 dS+/G9X^
合格标准 soSdlV{
波长精确度 ±1.0 nm f=$w,^ )M
波长再现度 ±0.25 nm
