光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 (> 5VS
一、真空腔室内部及各部件的清理 D>#v 6XI
1.腔室内部防护板 $$;2jX"I
周期：每月清理一次 "M#`y!__
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 HF =C8ZtlL
2.离子源清洗 a4qpn r]0
周期：50~100小时 0 N[DV]
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） xS-nO_t 'E
B.各个零件进行喷砂，其中： 96E7hp !:
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ]\mb6H c
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 8cPf 0p:
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 'e)ze^Jq
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 .q[s k
3.真空计清理 =
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周期：六个月清理一次 ?9okjLp1n
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 <[f2ZS6
4.冷泵再生 eHyuO)(xH1
周期：一个月 GvtI-\h]
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二、各计量部件校准 j%y+W{Q[
1、真空计 Iybpk?,M+
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Ol h%"=*;
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） l'lDzB+.*
A.光源性能检查 F*( A; N_y
周期：50小时一次 )"3oe ?
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 G]DN!7]@g
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。
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B.光学监控系统的稳定性 K]*ERAfM%m
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 JP*wi -8D
检查条件： @' :um
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 <21^{ yt1
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 T q; "_s
③测定波长：550nm %f(.OR)6{
C.波长精确度及再现性 0Lz56e'j
周期：2年一次 x]+KO)I
合格标准 $"n)C
波长精确度 ±1.0 nm !4.^@^L|\
波长再现度 ±0.25 nm
