光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 nL/]Q'(5
一、真空腔室内部及各部件的清理 th[v"qD9G
1.腔室内部防护板 I2}eFz&FE
周期：每月清理一次 "QNQ00[T`>
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 g ,EDE6`8
2.离子源清洗 N;'c4=M~(
周期：50~100小时 CA C4A
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） S\N1q ux{
B.各个零件进行喷砂，其中： z5]6"v -
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 `s T; \
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 i$<['DY
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 reh{jMC
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 =3- ?$
3.真空计清理 s$hO /INr
周期：六个月清理一次 rY45.,qWs
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 15 Mt lb
4.冷泵再生 k Alx m{
周期：一个月 HS{Vohy >
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二、各计量部件校准 Uc {m##!
1、真空计 Vn sV&cx
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 sb{K%xi%
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） rN} 8 ~j
A.光源性能检查 d7vPZ_j^z
周期：50小时一次 7[;!e n O
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ^_Hf}8H7]
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 P\ke%Jdpw?
B.光学监控系统的稳定性 Zyz#xM mM
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ==m[t-
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检查条件： u7hu8U=
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 dE_Xd :>
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ;(/go\m
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③测定波长：550nm x5Lbe5/ P
C.波长精确度及再现性 W^ L ^7
周期：2年一次 6Bjo9,L
合格标准 b`#YJpA
波长精确度 ±1.0 nm Fk/I
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波长再现度 ±0.25 nm
