光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 !y~b;>887
一、真空腔室内部及各部件的清理 34kd|!e,
1.腔室内部防护板 ] /Qy1,
周期：每月清理一次 xN8JrZE&
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 |uB C0f
2.离子源清洗 D#1~]d
周期：50~100小时 =Zy!',,d,9
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） oD@jtd>b %
B.各个零件进行喷砂，其中： +|YZEC
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 "| *Kf#
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 >1G*ya)
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ,GU/l)os`
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 oK:P@V6!
3.真空计清理 yG G B
周期：六个月清理一次 l Y*]&8/=
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ]\,uF8gg)
4.冷泵再生 ko2j|*D6@~
周期：一个月 F(~_L.
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二、各计量部件校准 |;m`874
1、真空计 dHF$T3 3It
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 R 0HVLQI
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Wd 56B+
A.光源性能检查 3 ;S`<
周期：50小时一次 ZNpExfGEU
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 tlL n
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 vSC0D7BlG
B.光学监控系统的稳定性 6*aa[,>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 i6#]$ B
检查条件： E+ 3yN\X(
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 t{8v(}
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。
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③测定波长：550nm _pko]F|()
C.波长精确度及再现性 a<wQzgxG
周期：2年一次 I
cR;A\z
合格标准 #t2UPLO~
波长精确度 ±1.0 nm 9Jy2T/l
波长再现度 ±0.25 nm
