光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 -}W `
一、真空腔室内部及各部件的清理 D}| 30s?u1
1.腔室内部防护板 q|[P[7z
周期：每月清理一次 tl:+wp7P`
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ^6S td
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2.离子源清洗 ]q2g[D o5
周期：50~100小时 fy(i<L
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） EK:s#
B.各个零件进行喷砂，其中： mN9Uyz5G
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 : cmQ
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 d/Z258
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 !Hk$ t
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 eqL~h1^Co
3.真空计清理 77 Fpb?0`
周期：六个月清理一次 \G}$+
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 O;ty
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4.冷泵再生 2`o}neF{
周期：一个月 Jhyb{i8RR
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二、各计量部件校准 w K7wu.
1、真空计 A!K/92[#@
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 LE|*Je3a
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） u
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A.光源性能检查 Tu'/XUs;k
周期：50小时一次 O@
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合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 8" #Ix1#
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ?`nF"u >
B.光学监控系统的稳定性 H8ws6}C
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ;gh#8JkI
检查条件： D{](5?$`|
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 *hT1 _
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 MBbycI,
③测定波长：550nm ^Fl 6-|^~
C.波长精确度及再现性 S[b)`Wi D
周期：2年一次 jDp]}d|f)
合格标准 8"M*,?.]
波长精确度 ±1.0 nm 0RLyAC|
波长再现度 ±0.25 nm
