光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 X]^E:'E!
一、真空腔室内部及各部件的清理 R (Pa Q
1.腔室内部防护板 (,9cCnvmYU
周期：每月清理一次 :g :h 0'G
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ~^ 5n$jq
2.离子源清洗 M,! n o
周期：50~100小时 rZCAj
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） WuQ<AS=
B.各个零件进行喷砂，其中： 48NXj\L[y
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ua>~$`@gX
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 TOF62,
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 i}{Q\#=#
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 VKJ~ZIO@A
3.真空计清理 6)2M/(
周期：六个月清理一次 6rC P]YnF
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 *SG2k .$
4.冷泵再生 b2-|e_x
周期：一个月 v2X0Px_
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二、各计量部件校准 t
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1、真空计 yN f=Kl
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 teNQUIe-
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） \kGtYkctZ
A.光源性能检查 Hh=::Bi
周期：50小时一次 EKJ4_ kkjM
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Nc Mq>n
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 8GR r f2
B.光学监控系统的稳定性 W ]MJ!4
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 q@Yt`$VTN
检查条件： }uj'BO2?
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 QN8Hz/}\
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 t>u9NZt G
③测定波长：550nm Z8 n%=(He
C.波长精确度及再现性 { RX |
周期：2年一次 hg/&[/eodm
合格标准 9NXiCP9A
波长精确度 ±1.0 nm Zd/~ *ZA
波长再现度 ±0.25 nm
