光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 wn|@D<
一、真空腔室内部及各部件的清理
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1.腔室内部防护板 xWz;5=7a]
周期：每月清理一次 h?3 l
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Cmx2 /N
2.离子源清洗 -u9yR"n\}
周期：50~100小时 tO>OD#
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ^@lg5d3F
B.各个零件进行喷砂，其中： 0gD59N'C
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 `W$0T;MPF
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ]!G>8Rc
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 G4%M$LJ h
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 1 lCikS^c
3.真空计清理 -s%-*K+,W
周期：六个月清理一次 = #2qX> ?
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 agm5D/H]:
4.冷泵再生 'h6} cw+K
周期：一个月 < &s)k
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二、各计量部件校准 |;u%JW$4
1、真空计 =>}.W:=
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 maUHjI
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ^x"c0R^
A.光源性能检查 NU&^7[!yl
周期：50小时一次 7M#$: Fdb
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 u4,X.3V]A
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ]VG84bFm
B.光学监控系统的稳定性 ]RX tC*
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 nR@,ouB-$
检查条件： u~- fK'/!|
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ^Ii \vk
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 h3]@M$Y[
③测定波长：550nm a;'E}b{`F
C.波长精确度及再现性 CpRu*w{
周期：2年一次 xe gL!
合格标准 g[wP!y%V
波长精确度 ±1.0 nm YUVc9PV)Ws
波长再现度 ±0.25 nm
