光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 JIKxY$GS
一、真空腔室内部及各部件的清理 )$4 DH:WN
1.腔室内部防护板 sfPN\^k2
周期：每月清理一次 / lM~K:
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Ib8{+j
2.离子源清洗 M*6 @1.n
周期：50~100小时 3X,{9+(F
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 2\tj eg
B.各个零件进行喷砂，其中： "s<l Lgi
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ,wo" (E!4e
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 +* {5ORq=
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 fO(S +}
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 s wq!S p
3.真空计清理 GiwA$^Hg\
周期：六个月清理一次 >D4Ez
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 SfL`J Ni)
4.冷泵再生 .
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周期：一个月 I8]NY !'cW
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二、各计量部件校准 SY)$2RC+}
1、真空计 pDq_nx9
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 y+af UJT
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） } z-
A.光源性能检查 K.1yncS^
周期：50小时一次 c !^}!32j)
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 oz-I/g3go
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 T5_Cu9>ax
B.光学监控系统的稳定性 swL|Ff`$
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 (+ anTA=
检查条件： $-fY 8V3[
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 I'b]s~u
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 .{Oq)^!ot
③测定波长：550nm :Ia &,;Gc
C.波长精确度及再现性 v nC&1
周期：2年一次 t3g! 5
合格标准 p=gUc O8
波长精确度 ±1.0 nm 4yv31QG$
波长再现度 ±0.25 nm
