光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 F$)[kP,wtO
一、真空腔室内部及各部件的清理 Bve.C
1.腔室内部防护板 O%bEB g
周期：每月清理一次 gEjdN.
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 d3xmtG {i
2.离子源清洗 J{Q|mD=
周期：50~100小时 0Vx. nUQ
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） EN/,5<S<,[
B.各个零件进行喷砂，其中： rW$[DdFA5{
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 4<BjC[@~Z{
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 .SWlp2!M5
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 <7~'; K
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 z4N*b "QF
3.真空计清理 hIT+gnh h
周期：六个月清理一次 79;<_(Y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 $&=S#_HQS
4.冷泵再生 X(N LtO
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周期：一个月 \ kZ?
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二、各计量部件校准 *WuID2cOI
1、真空计
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 w(L4A0K[
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） +~p88;
A.光源性能检查 ')cMiX\v
周期：50小时一次 > ;*b|Ik
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 HAa; hb
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 A6thXs2
B.光学监控系统的稳定性 c24dSNJg,
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 \2h!aRWR
检查条件： x<ZJb
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 6^`1\
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②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 #"G]ke1l $
③测定波长：550nm Bx<
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C.波长精确度及再现性 .:F%_dS D
周期：2年一次 /V'A%2Cl=T
合格标准 [M UpxOAsd
波长精确度 ±1.0 nm 4\iOeZRf
波长再现度 ±0.25 nm
