光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 @a>+r1
一、真空腔室内部及各部件的清理 6peO9]Zy
1.腔室内部防护板 _ 9#4
周期：每月清理一次 x
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 2y
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2.离子源清洗 rA8neO)
周期：50~100小时 xlgN}M
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） =o{zw+|% %
B.各个零件进行喷砂，其中： vay_QxB5
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 \P }~ICZA
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 9j:?s;B
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ` B
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 `"zX<
3.真空计清理 O#Xq0o
周期：六个月清理一次 pL.r
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拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 #2_phm'
4.冷泵再生 qK.8^{b
周期：一个月 hKQ T,
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二、各计量部件校准 %OfaBv&
1、真空计 2B=yT8
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 %Ni)^
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） PM 7*@~.
A.光源性能检查 `-]*Q b+
周期：50小时一次 D7[ 8*^
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ="d}:Jl
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 +7^%fX;3pW
B.光学监控系统的稳定性 d01bt$8>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 t$]lK6
检查条件： 5mnIQ~psR
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 k~ `pV/6
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 DFVaZN?~
③测定波长：550nm J6n@|L!yO
C.波长精确度及再现性 qg'RD]a> R
周期：2年一次 p#qQGJe
合格标准 pu0I hDMn
波长精确度 ±1.0 nm ., o=#
波长再现度 ±0.25 nm
