半导体设备CVD ILD Dep Amat 5000薄膜工艺

东益科技集团有限公司 N]=q|D  
DONG YI TECHNOLOGY GROUP LIMITED `Cynj+PCe  
东益科技集团有限公司于1997年成立，通过十余年的努力创新，锐意进取，逐步成为一家覆盖半导体行业各个领域的全面的公司，业务有二手半导体制造设备的翻新和销售、IC的封装测试、线路板设计制造、SMT生产加工等。其中翻新和销售的半导体制造设备有：AURA1000、AMAT5000、SSI TRARK150/500、AMAT8330、AMAT8310、AE490B、EG2001/EG2010、Quaestor Q5、Verteq1600、Edward Pump及各种设备的辅助机台和主机配件。 XW)lDiJl  
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主机设备清单 `%"\@<  
名称 型号 厂家 年代 j@3Q;F0ba  
CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995 ShP^A"Do  
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CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992 +.b,AqJ/  
9`X\6s  
LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985 [uN? ~lp\%  
u(F_oZ~  
LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986 ~t~k2^)|"  
fW1CFRHH  
LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993 %axh`xK#  
C]`$AqKl  
LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991 ,77d(bR<  
w(3G&11N?  
Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995 yfjWbW  
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AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994 j[G  
17"uf.G  
AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996 2,b(,3{`4:  
Zbt.t]N  
Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996 S3*`jF>q  
tOd&!HYL  
Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993 d_E/8R_$L  
lc1(t:"[  
SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990 hPkWCoQpq  
3-qr)h  
SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990 &4x}ppX  
#3@rS  
SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993  eFTpnG  
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SSI Track 500 Semiconductor Systems, Inc. 1989--1998 :tB1D@Cb6  
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Biorad Q2 Req. Q5 Quaestor 1994 qJa H,  
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除此外我公司还有大量Edwards单泵和组合泵 bL+_j}{:N  
Edwards Pump： m_
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Qdp40, Qdp40/Qmb250, Qdp40/Qmb500 `O!X((  
Iqdp80, Iqdp80/qmb500 ， Iqdp80/Iqmb250， Iqdp80/Iqmb500 e L^|v  
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我公司网站http://www.dongyitech.com/ SpLzm A  
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欢迎来电咨询 z2_*%S@  
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