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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 :lK4 db  
     \83sSw  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 4YLs^1'TG0  
    uArR\k(  
     k,rWa  
    I_?He'=0oU  
    建模任务 ~Eq\DK  
    ('t kZt%8  
      QsOhz  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) O6iCZ  
     YdI0E   
    某一位置的Talbot图样 khAqYu" )  
    snYr9O[E6  
     +yWR#[`n  
       ^uW%v2  
    某一位置的Talbot图样 '&by3y5w-3  
    TFy7HX\Oq  
     9= V>f )R  
    'S?;J ,/  
    不同位置的Talbot图样 hmZvIy(  
    4<.O+hS  
     6e.v&f7(  
    Kd3QqVJBz1  
    不同位置的Talbot图样 Q.k :\m*h  
    )p8I @E  
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    W&(f&{A  
    沿Z轴的强度 . uR M{Bs  
    |y"jZT6R}t  
     EA|k5W*b  
    K)S;:MLG=  
    走进VirtualLab Fusion bU`=*  
    2yKz-"E  
     5j{Np,K  
    j$x)pB3]  
    VirtualLab Fusion的工作流程 S &JJIFftO  
    n|i"S`  
     构建光栅结构 `HW:^T  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] >fzwFNdo  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 1$ML#5+,  
    `.=sTp2rbc  
     通过参数运行计算不同位置的强度 g:<?  
    - 参数运行文件的使用 [用例] \t3qS eWc/  
    J!h^egP  
    E=u/tpj  
    8g*hvPc  
    VirtualLab Fusion技术 = .oHnMX2M  
    }rbZ&IN\?E  
     Y ?'tUV  
     
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