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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 CBaU$`5  
     ,\*PpcU  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ",wv*z)_>  
    E`vCYhf{  
     vLQ!kB^\W  
    5 9$B z'LY  
    建模任务 [I/f(GK  
    U~{fbS3,  
     =.vc={_ ?  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) i4 BCm/h  
     bb<qnB  
    某一位置的Talbot图样 m1,?rqeb  
    DRS68^  
     ;O7CahdF  
       ?^TjG)e7  
    某一位置的Talbot图样 ?-"xP'#  
    Z}#, E ;  
     J:s^F n  
    0*?/s\>PS;  
    不同位置的Talbot图样 {Rc!S? 8  
    02g!mJW>}y  
     );4lM%]eb  
    8?ig/HSt2  
    不同位置的Talbot图样 vZEeb j  
    [x}]sT`#a  
     `[T|Ck5  
    lMpjE  
    沿Z轴的强度 bWc3a  
    H JFt{tq2  
     K-D{Z7J^l  
    AvW2)+6G  
    走进VirtualLab Fusion hoy+J/  
    5xJyW`SWz  
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    t__UqCq~h  
    VirtualLab Fusion的工作流程 EL_rh TWw  
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     构建光栅结构 -{z.8p}IW  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] pJM~'tlHV  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] p-]vf$u  
    ]"'$i4I{R  
     通过参数运行计算不同位置的强度 N[$bP)h7  
    - 参数运行文件的使用 [用例] u,<#z0R|;$  
    QR'yZ45n4  
    ;; z4EGr  
    -Y]ue*k{  
    VirtualLab Fusion技术 ;{Cr+lqTJ  
    bZ!*s  
     >Mml+4<5  
     
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