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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 4小时前
    摘要 ?FD^S~bz-  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 XD9lox  
    Qb/qUUQO;0  
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    建模任务 MH1??vW  
    _bu, 1EM  
     mI@]{K}Q%  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) @"];\E$sI  
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    某一位置的Talbot图样 0zetOlFbO  
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    某一位置的Talbot图样 9>%ti&_-jt  
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    不同位置的Talbot图样 u05Zg*.[  
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    不同位置的Talbot图样 SVo:%mX  
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    沿Z轴的强度 wHvX|GwMv  
    *6?h,Dt L  
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    走进VirtualLab Fusion f9?\Q'v8  
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    = a$7OV.  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ?zM]p"M  
    B ;@7  
     构建光栅结构 k|'{$/ n  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] +:+q,0~*]  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] =`Pgo5A  
    1 \:5ow&a  
     通过参数运行计算不同位置的强度 TFjb1 a,)  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ozy~`$;c  
    :q/%uca9  
    Qo+I98LX[  
    jhOQ)QE|  
    VirtualLab Fusion技术 tN&4t xB  
    w9Bbvr6  
     g4EC[>5!r  
     
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