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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 <C_FI` wk  
     ul$YV9 [\  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 xl$#00|y  
    TBYRY)~f  
     +}@HtjM  
    >_$DKY>$`  
    建模任务 K}U}h>N  
    nUvxO `2  
     N5=; PZub  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) *tda_B 2  
     Py8<db%  
    某一位置的Talbot图样 DN@T4!  
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     ivbuS-f =r  
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    某一位置的Talbot图样 #`mo5  
    V4OhdcW{  
     b!ZXQn3X<  
     98os4}r  
    不同位置的Talbot图样 r^k:$wJbRK  
    ~o+HAc`=v  
     8 ]N+V:  
    #U NTD4   
    不同位置的Talbot图样 Wb"*9q06  
    [2!K 6  
     #<bt}Tht  
    451r!U1Z  
    沿Z轴的强度 !z;a>[T'  
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    走进VirtualLab Fusion sSi1;9^o  
    EIwTx:{F  
     s45Y8!c  
    P.RlozF5;  
    VirtualLab Fusion的工作流程 HZdmL-1Z^+  
    @U%I 6 t  
     构建光栅结构 9(Vq@.;Z`j  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1@kPl[`p'  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] })|+tZ  
    6v0^'}  
     通过参数运行计算不同位置的强度 a'ViyTBo  
    - 参数运行文件的使用 [用例] FG-w7a2mn  
    9/MUzt  
    7{ :| )  
    $L.0$-je4  
    VirtualLab Fusion技术 ](vsh gp2  
    a $g4 )0eS  
     a8-2:8Su  
     
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