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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 cLhHGwX=x  
     ;\-f7!s  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 @`t#Bi9  
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    建模任务 qw?#~"Ca.  
    #@%DY*w]v  
     ^F\RM4|,  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) w1U2cbCr/  
     T6mbGE*IeE  
    某一位置的Talbot图样 "}ibH{$lM  
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    沿Z轴的强度 X 8/9x-E_  
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    ^lvYj E  
    走进VirtualLab Fusion srL|Y&8p  
    fI<|]c}P&J  
      {^8->V  
    Kx4_`;>  
    VirtualLab Fusion的工作流程 kz!CxI (  
    78~;j1^6u  
     构建光栅结构 2 .p?gRO  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例]  C\`*_t  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] qX9x#92  
    ]S0tK  
     通过参数运行计算不同位置的强度 @"h @4q/W  
    - 参数运行文件的使用 [用例] I@/s&$H`l  
    ;9&#Sb/  
    {)`tN&\  
     Uf,fd  
    VirtualLab Fusion技术 B+VD53 V  
    BT*z^Z H  
     (J6>]MZ#)  
     
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