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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 j*nCIxF  
     -xXM/3g1u  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 6|9fcIh]B  
    ;|c,  
     -.y3:^){^  
    4*]`s|fbu  
    建模任务 @<+(40`*  
    bbnAmZ   
     &o(? }W  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~ lS3+H  
     4Y'qo M;  
    某一位置的Talbot图样 x<].mx  
    4YJs4CB  
     @eul~%B{X  
       e_e|t>nQ  
    某一位置的Talbot图样 ' x|B'  
    VrDvd  
     XyhdsH5%3!  
    J_tJj8  
    不同位置的Talbot图样 &c'unKH  
    Y,9("'bo  
     > 2$M~to"1  
    9r!%PjNvE  
    不同位置的Talbot图样 LY"/ Q  
    l\bBc, %jt  
     *+iWB_  
    ;2$^=:8  
    沿Z轴的强度 WZ ZD  
    E+_ }8J .  
     nt4>9;  
    ){/y-ixH  
    走进VirtualLab Fusion dW91nTQ:  
    6w54+n  
     N$. ''D?7D  
    Z#0z#M`  
    VirtualLab Fusion的工作流程 1}N5WBp  
    h/X),aK3  
     构建光栅结构 C>LkU|[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] n1v%S"^  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] btee;3`  
    %'P58  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ?qdG)jo=  
    - 参数运行文件的使用 [用例] [scPs,5Y  
    _3`{wzMA  
    r"xo9&|  
    " jy'Dpy0m  
    VirtualLab Fusion技术 Eh JYdO[e  
    t &*$@0A  
     |*!I(wm2i  
     
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