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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 3V,X=  
     Fs&m'g  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 MjG .Ili$m  
    5B98}N  
     rj{'X  /  
    gXf_~zxS  
    建模任务 iJsw:Nc  
    u1<xt1K  
     KY_qK)H  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6^ KDc  
     zpa'G1v  
    某一位置的Talbot图样 r3*wH1n  
    Jl^oDW  
     8#oF7eE  
       4P` \fz  
    某一位置的Talbot图样 W<9G wMU  
    %X.Q\T  
     +)7NWR\  
    s&fU|Jk8  
    不同位置的Talbot图样 Q'\jm=k  
    yp :yS  
     B8IfE`  
    v}cm-_*v  
    不同位置的Talbot图样 B:^U~sR  
    |\}f)Xp-  
     `Cb$8;)z  
    neZ_TT/3K  
    沿Z轴的强度 -<<!eH  
    0 TS:o/{(a  
     ^Jkj/n'  
    9xu&n%L=  
    走进VirtualLab Fusion E+3~w?1  
    GZ4{<QG  
     )s^XVs.-  
    +bQn2PG=  
    VirtualLab Fusion的工作流程 j+Tk|GRab  
    {O"dj;RU  
     构建光栅结构 IGI2).$[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] L9AfLw5&X  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ! q1Ql18n  
    $/d~bk@=l  
     通过参数运行计算不同位置的强度 (d!vm\-PH  
    - 参数运行文件的使用 [用例] X0=R @_KY  
    wTTQIo 60  
    q?t>!1c  
    %M^bZ?  
    VirtualLab Fusion技术 {@3=vBl%O+  
    NuXU2w~  
     RP(FV<ot  
     
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