KOHZU神津多用途3次元测定用Xyθ平台 KZ400/KZ600
=B%e0M qiJ{X{lI KZ系列多用途Xyθ平台主要用于形状测定、图像观察和图像处理,组合电机控制器SC-200门型画幅帧和除振台来构成系统。
Vo8"/]_h 另,XY平台有行程200mm(KZ-400)、300mm(KZ-600)2种选择。
>maz t=, o-Arfc3Q 机械单元的系统构成 KZ-400 KZ-600
bZfJG^3 自动XY平台 移动范围 200mm 300mm
.1lc'gu5y 最大
驱动速度 40mm/sec
)Q?[_<1Y+ 最小移动分辨率 4μm/step(Half时)
UbH=W(% 重复定位精度 ±2μm
xWV7#Z7 手动θ平台 移动范围 ±5° ±3°
Vk
T3_f Xyθ重量 50kg 100kg
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