《
半导体器件物理与
工艺》(第2版)分为三个部分:第1部分(第2、3章)描述半导体的基本特性和它的传导过程,尤其着重在硅和砷化镓两种最重要的丰导体
材料上。第l部分的概念将在《半导体器件物理与工艺》(第2版)接下来的部分被用到,了解这些概念需要现代物理和微积分的基本知识。第2部分(第4-9章)讨论所有土要半导体器件的物理过程和特性。由对大部分半导体器件而言最关键的p-n结开始,接下来讨论双极型和场效应器件。最后讨论微波、量子效应、热
电子和
光电子器件。第3部分(第10-14章)则介绍从
晶体生长到掺杂等工艺技术。我们介绍了制作器件时的各个主要步骤,包含理论和实际情况,并特别强调其在集成
电路土的压用。
*tqD:hiF 《半导体器件物理与工艺》(第2版)介绍了现代半导体器件的物理
原理和先进的工艺技术.它可以作为应用物理、电机工程、电子工程和材料科学领域的本科学生的教材,也可以作为工程师和科学家们需要了解最新器件和技术发展的参考
资料、首先,第1章对土要半导体器件和关键技术的发展作一个简短的历史回顾。
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>Sc yc-n ;Nn( 第1章 简介
s5*4<VxQN. 1.1 半导体器件
)g@+
MR 1.2 半导体工艺技术
ED` 1)1< 总结
f;'*(( 参考史献
~0PzRS^o 第1部分 半导体物理
v'hc-Q9+> 第2章 热平衡时的能带和载流于浓度
eo]nkyYDP 2.1 半导体捌料
KrGl}| 2.2 基本晶体
结构 cEL:5*cAU} 2.3 基本晶体生长技术
&~_F2]oM 2.4 共价健
Ow;thNN 2.5 能带
'yiv.<4 2.6 本征载流子浓度
3 yx[*'e$ 2.7 施主与受主
JBpV'_"] 总结
edL2ax 参考文献
w9|x{B 习题
Biv)s@"f-Q 第3章 载流子输运现象
[ cB^6v 3.1 载流子漂移
sQgz}0_=) 3.2 载流子扩散
_#{ *I(l 3.3 产生与复合过程
(HRj0,/^ 3.4 连续性方程斌
g
*,O 3.5 热电子发射过程
HT.,BF 3.6 隧穿过程
:?xH)J,imk 3.7 强电场效应
d|R-K7 ~~ 总结
cSPQ
NYU: 参考文献
89M'klZ 习题
`CWhjL8^ 第2部分 半导体器件
z6`0Uv~ 第4章 p-n结
Htgo=7!?\3 4.1 基本工艺步骤
dXTD8 )& 4.2 热平衡状态
f-M:ap(O 4.3 耗尽区
gAqK/9; 4.4 耗尽层势垒电容
;.4y@?B 4.5 电流-电压特性
iy~h|YK; 4.6 电荷储存与暂态响应
PMsb"=Ds 4.7 结击穿
kP`#zwp'Ci 4.8 异质结
*EuX7LEu_ 总结
GFFwk4n1 参考文献
}# s{." 习题
WWpMuB_G 第5章 双极型晶体管及相关器件
xb\EJ1M> 5.1 晶体管的工作原理
[63\2{_^v 5.2 双极型晶体管的静态特性
EV( F!& 5.1 双极型晶体管的频率响应与开关特性
336ETrG^0 5.4 异质结双极型晶体管
=][
)|n 5.5 可控砟器件及相关功率器件
KJ+6Y9b1 总结
RG'iWA,9m` 参考文献
[!)HWgx 习题
L-(bw3Yr> 第6章 M0SFET及相关器件
X$@`4 6.1 MOS二极管
!yv>e7g^ 6.2 MOSFET基本原理
XR ..DVab 6.3 MOSFET按比例缩小
(xG%H:6,
6.4 CMOS与双极型CMoS(BiCMOS)
P^OmJ;""D 6.5 绝缘层上MOSPET(SOI)
WK$\#>T 6.6 MOS存储器结构
+c%jOl 6.7 功率M05FET
+6uf6&.@~ 总结
WVR/0l&bU 参号文献
(GF}c\=T7 习题
{}s/p9F4 第7章 MEsFET及相关器件
VzXVy)d 7.1 金属-半导体接触
?t%{2a<X 7.2 金十场效应晶体管(MESFET)
g-K;J4 K% 7.3 调制摻杂场效应晶体管
},d^y:m 总结
[;wJM|Z J0 参考文献
;B@#,6t/ 习题
_&]7 第8章 微波二极管、量子效应和热电子器件
E n7~wKF 8.1 基奉微波技术
.F,l>wUNe 8.2 隧道二极管
1 3]e< ' 8.3 碰撞电离雪崩渡越时间二极管
^N^G?{EV/# ……
+.~K=.O) 第9章 光电器件
kSV(T'#x 第3部分 半导体工艺
)n)AmNpq
第10章 晶体长生外延
BI%^7\HZ 第11章
薄膜淀积
fNLO%\G~2 第12章 图形曝光与刻蚀
}<~(9_+ 第13章 杂质掺杂
<( OHX3~ 第14章 集成器件
ry|a_3X(I 附表
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