现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 TljN!nv]  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 FY;\1bt<<  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。
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第一篇光学多层膜设计 vW6 a=j8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ]U[y3  
1.1单色平面电磁波 W,sU5sjA  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Xae0xs  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [6 d~q]KH  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 0|6]ps4Z7  
习题 E :gS*tsY  
第2章光学薄膜的设计理论 RF3?q6j ,  
2.1矢量作图法 ggluQGA  
2.2有效界面法 >?Y)evW  
2.3对称膜系的等效层 Z_b^K^4  
2.4导纳图解技术 :~uvxiF  
习题 eAqSY s!1  
第3章光学薄膜系统的设计 'Cki"4
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3.1减反射膜 (pBPf  
3.2分束镜 @8keLrp  
3.3高反射膜 [tN^)c`s/  
3.4干涉截止滤光片 2Y~UeJ_\Lq  
3.5带通滤光片 !Cqm=q{K  
3.6特殊膜系 S8=Am7D]1  
习题 \VY!= 9EV  
参考文献 $H0diwl9R  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7JC^+rk  
第4章薄膜制备技术 sb1Zm*m6  
4.1真空淀积工艺 Xk2M.:3`  
4.2光学薄膜材料 ZD$W>'m{F  
4.3薄膜厚度监控艺术 }s*H|z  
4.4膜层厚度的均匀性 w$5~'Cbi  
习题 J#k3iE}  
参考文献 z-9@K<`H  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 7CKpt.Sz6  
5.1薄膜的形成过程 iJ8 5okv'  
5.2薄膜的微观结构 SW94(4qo  
5.3薄膜的成分 |aAu4
 
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 0wFa7PyG?  
5.5薄膜微观结构和改善 >Q(+H-w  
习题 :S['hBMN  
参考文献 wEQ7=Gyx  
第三篇光学薄膜检测技术 $x5,Oen  
第6章薄膜透射率和反射率测量 4Sj;38F .1  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Sf_q;Ws  
6.2薄膜反射率的测试 ;N+ v x  
6.3薄膜反射率的测量 |6qxRWT"  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 R,3E_me"}  
6.5总结 @ve4rc/LI  
习题 M lv  
参考文献 cImOZx
 
第7章薄膜的吸收和散射测量 B/:
+(|  
7.1激光量热计基本原理 ;f]p`!] 3  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 FWi c/7  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 W^o*^v  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 4jWzYuI&J  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \IL;}D{  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 6[b?ckvi  
7.7总结 t^8ii  
习题 Mz?xvP?z  
参考文献 jb~W(8cj  
第8章薄膜光学常数的测量 O }ES/<an  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 >M}\_c=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 For`
rfR  
8.3薄膜波导法 $0-}|u]5U  
8.4光学薄膜厚度的测试 dz3KBiq  
8.5总结 v
jTs[eq>  
习题 v?BVUH>#
9  
参考文献 {S9't;%]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 $ 8"we  
9.1薄膜的力学特性检测技术 t)#dR._q  
9.2薄膜器件的环境试验 i8h(b2odQ  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 a&sVcsX  
9.4总结 #!A'6SgbkM  
习题 f*Xum[  
参考文献 @yGK$<R  
附录 fbl8:c)I  
附录A复数与复数运算 Sckt gp8  
A.1复数的概念 >A]U.C  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 3`Ug]<m  
A.3复数在物理中的运用 xSf&*wLE  
附录B矩陈及矩陈运算 !=)R+g6b  
B.1矩陈的定义 5B|&+7dCw  
B.2矩陈运算 '
8k{\>  
附录C光的电磁理论基础 ^~p^N <  
C.1振动与波 i 4}4U  
C.2电磁波 ZqDanDM  
C.3麦克斯韦方程 9_$i.@L1  
C.4平面电磁波 |D@/4B1P  
C.5平面电磁波性质 ~PTqR2x  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 C >@T+xOZ  
附录D光的干涉 )s#NQ.T[  
D.1波的叠加原理 T>~D(4r|pS  
D.2杨氏干涉 cC4 2b2+  
D.3平板的表面干涉 8C[W;&Y=  
D.4光的空间相干性和时间相干性 H3}eFl=i2  
附录E光的偏振 u{asKUce\  
E.1自然光和偏振光 NcuZw?  
E.2偏振光与Jones矩陈 {vp|f~}zTw  
E.3偏振光的获得 %2S+G?$M?  
E.4偏振光的检验 I^u$H&  
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