现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 s6Ox!)&  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <j"}EEb^  
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第一篇光学多层膜设计 F^& Rg  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %Ci`OhT  
1.1单色平面电磁波 '6U~|d  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 <-KHy`u  
1.3光学薄膜特性的理论计算 h&Thq52R  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 R'bmE:nL  
习题 za{z2#aJ  
第2章光学薄膜的设计理论 $B6CLWB  
2.1矢量作图法 6f1%5&si  
2.2有效界面法 h!# (.P  
2.3对称膜系的等效层 O%RkU?ME  
2.4导纳图解技术 U^jxKBq^  
习题 Uawf,57v<  
第3章光学薄膜系统的设计 0uX"KL]Elf  
3.1减反射膜 .KiJq:$H  
3.2分束镜 Q(@/,%EF  
3.3高反射膜 01v7_*'R  
3.4干涉截止滤光片 K"~Tk`[0Q  
3.5带通滤光片 Kj
bt1n  
3.6特殊膜系 O:02LHE  
习题 fBCW/<Z  
参考文献 mEi+Tj zp  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 e1Kxqw7  
第4章薄膜制备技术 ;A^0="x&  
4.1真空淀积工艺 yKE[,"  
4.2光学薄膜材料 1,cd[^`.  
4.3薄膜厚度监控艺术 %ux%=@%  
4.4膜层厚度的均匀性 !e~Yp0gX#  
习题 ~"\qX+  
参考文献 ?v-Y1j  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 /Mk85C79  
5.1薄膜的形成过程 3V")~m  
5.2薄膜的微观结构 GA&mM  
5.3薄膜的成分 ]3.Un
,F  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 RQ?T~ASs  
5.5薄膜微观结构和改善 OO%<~H  
习题  LW?Zd=  
参考文献 2+KOUd&jS  
第三篇光学薄膜检测技术 u`E24~  
第6章薄膜透射率和反射率测量 $*)??uU  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Y|ONCc  
6.2薄膜反射率的测试 3{e7j6u\  
6.3薄膜反射率的测量 ]RYk Y7>`  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗  y!6+jrI  
6.5总结 |~'D8 g:Ak  
习题 (hywT)#+  
参考文献 *"rgK|CM$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @
8zp(1.  
7.1激光量热计基本原理 cY/!z  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 -$pS {q;  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 p#vZYwe=L  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 a`}b'X:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 m5KB#\  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 i!zh9,i>M  
7.7总结 \EH:FM}l,  
习题 d~L`*"/)[  
参考文献 c*nH=  
第8章薄膜光学常数的测量 ?h`Ned0P  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 urGk_.f  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 gI^);JrTE  
8.3薄膜波导法 /m,0H)w1  
8.4光学薄膜厚度的测试 p/V  
8.5总结 {
"33 .^=  
习题 1](5wK-Z  
参考文献 zGz^T  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 x?Wt\<|h!  
9.1薄膜的力学特性检测技术 3#>;h
 
9.2薄膜器件的环境试验 c"ukV_6~J  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 >M.?qs4  
9.4总结 A`4Di8'Me  
习题 t3 AZS0  
参考文献 'BT}'qN  
附录 }g WSV  
附录A复数与复数运算 T!6H5>zA  
A.1复数的概念 8kZ~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 &fBLPF%6  
A.3复数在物理中的运用 yHW=,V.  
附录B矩陈及矩陈运算 o l67x  
B.1矩陈的定义 7I;Give{  
B.2矩陈运算 Hfer\+RX  
附录C光的电磁理论基础 e_J_rx  
C.1振动与波 s{q)m@  
C.2电磁波 fShf4G_w\  
C.3麦克斯韦方程 '< OB j  
C.4平面电磁波 bAeN>~WvY  
C.5平面电磁波性质 Auhw(b>}TW  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 L K9vvQz  
附录D光的干涉 *[*#cMZ   
D.1波的叠加原理 ogv86d  
D.2杨氏干涉 Ah)OyO6  
D.3平板的表面干涉 W|=?-
 
D.4光的空间相干性和时间相干性 e,zR  
附录E光的偏振 ^DHFP-G?e  
E.1自然光和偏振光 dQ^>,(  
E.2偏振光与Jones矩陈 x]%e_  
E.3偏振光的获得 ?8Cxt|o>  
E.4偏振光的检验 Kzxzz6R?  
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