现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ;PU'"MeB "  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 (3!6nQj-t  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ;~d$OM  

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第一篇光学多层膜设计 Y`4 LMK[]  
第1章光学薄膜特性的理论计算 7l=Tl[n  
1.1单色平面电磁波 I^u~r.  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 l`A&LQ[  
1.3光学薄膜特性的理论计算 +S-60EN*A  
1.4光学多层膜内的电场强度分布
%xQ'i4`  
习题 *jPd=+d  
第2章光学薄膜的设计理论 U/cj_}uX  
2.1矢量作图法 }B
L7P-km  
2.2有效界面法 >b=."i  
2.3对称膜系的等效层 G%>[7]H  
2.4导纳图解技术 v'Ehr**]+  
习题 2QAP$f0Ln  
第3章光学薄膜系统的设计 CnZEBAU  
3.1减反射膜 J` gG`?  
3.2分束镜 xDH#K0-#L  
3.3高反射膜 _-543B}  
3.4干涉截止滤光片 /EP zT7  
3.5带通滤光片 zF>;7'\x  
3.6特殊膜系 9%NobT  
习题 _O'!C!K6  
参考文献 ePJ_O~c  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 OgC,oj,!/  
第4章薄膜制备技术 p8)R#QWz9  
4.1真空淀积工艺 @|wU @by{  
4.2光学薄膜材料 kN{$-v=K  
4.3薄膜厚度监控艺术 K*b* ]hf{  
4.4膜层厚度的均匀性 -
Q JPJ.  
习题 Cj`~ntMN  
参考文献 fsw[R0B  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 p'%S{v@5((  
5.1薄膜的形成过程 U.I w/T-5  
5.2薄膜的微观结构 C,$o+q*)W9  
5.3薄膜的成分 >1Hv c7DP  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 DmPsE6G}  
5.5薄膜微观结构和改善 <DR!AR)  
习题 Yk?q\1  
参考文献 zp}pS2DU  
第三篇光学薄膜检测技术 ^dhx/e%s  
第6章薄膜透射率和反射率测量 }d>.Nj#zh  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 S1Od&
v[R  
6.2薄膜反射率的测试 ITqAy1m@
C  
6.3薄膜反射率的测量 &QW&K  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 8IxIW0  
6.5总结 E0fMFG^P  
习题 w{xa@Q]t-  
参考文献 8M,@Mbn  
第7章薄膜的吸收和散射测量 0,0Z!-Y  
7.1激光量热计基本原理 UQ;2g\([  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 fpC":EX@r  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 PlS
)Zv3  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 00dY?d{[D  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 3F!)7  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 h%W,O,K/  
7.7总结 D]}~`SO  
习题 \<T7EV.  
参考文献 )8#-IXxp  
第8章薄膜光学常数的测量 _a& Z$2O  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ]a&riPh"  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法
c*E7nc)u  
8.3薄膜波导法 _b-g^#L%  
8.4光学薄膜厚度的测试 `5wiXsNjLY  
8.5总结 nw`rH*  
习题 fiA8W  
参考文献 _/}$X"4  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 '<<@@.(f  
9.1薄膜的力学特性检测技术 %$Py@g  
9.2薄膜器件的环境试验 Shy.:XI  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 [f lK  
9.4总结 G/},lUzLg  
习题 F {L#  
参考文献 Q(yg bT  
附录 F*Hovxez  
附录A复数与复数运算 IZLCwaW  
A.1复数的概念 pKj:)6t"  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Te?PYV-  
A.3复数在物理中的运用 F02TM#Zi  
附录B矩陈及矩陈运算 >#;;g2UV  
B.1矩陈的定义 uE(5q!/  
B.2矩陈运算 G;u~H<  
附录C光的电磁理论基础 C6a
-  
C.1振动与波 *!BQ1] G  
C.2电磁波 =FIZh}JD  
C.3麦克斯韦方程 c
7@/<*E+  
C.4平面电磁波 M!!vr8}  
C.5平面电磁波性质 uaKbqX  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 1D8S}=5&  
附录D光的干涉 |IzL4>m:;  
D.1波的叠加原理 ~p n$'1Q  
D.2杨氏干涉 0]' 2i  
D.3平板的表面干涉 -UzWLVB^  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Nb_Glf  
附录E光的偏振 MMET^SO  
E.1自然光和偏振光 DO*6gzW  
E.2偏振光与Jones矩陈 sg}<()  
E.3偏振光的获得 W1xPK*  
E.4偏振光的检验 Lk#)VGk:  
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