现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 N;C"X4rV  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 _OJ0 < {E  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 N?a1sdR  

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第一篇光学多层膜设计 K-2o9No?j`  
第1章光学薄膜特性的理论计算 XlPK3^'N)h  
1.1单色平面电磁波 F@=e2e 4  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Tn4W\?R  
1.3光学薄膜特性的理论计算 VM-qVd-  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 m4Phn~>Gg  
习题 A~6%,q@^jh  
第2章光学薄膜的设计理论 cy=I0  
2.1矢量作图法 }b_R5U$@@  
2.2有效界面法 MekT?KPQ{L  
2.3对称膜系的等效层 :"M9*XeHO  
2.4导纳图解技术 935-{h@k
 
习题 $i,6B9  
第3章光学薄膜系统的设计 jzl?e[qPA  
3.1减反射膜 XGE 2J  
3.2分束镜 8%;}LK  
3.3高反射膜 S
mqr q  
3.4干涉截止滤光片 6Gs{nFw  
3.5带通滤光片 Y%78>-2L  
3.6特殊膜系 4*0:bhhhf_  
习题 $R A4U<  
参考文献 ]$m#1Kj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 |rr$U  
第4章薄膜制备技术 t[]['Iosd  
4.1真空淀积工艺 2wB.S_4"-<  
4.2光学薄膜材料 opm?':Qst  
4.3薄膜厚度监控艺术 zW%>"y  
4.4膜层厚度的均匀性 ?!bd!:(N  
习题 +dqk6RE  
参考文献
Dh
 hG$  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 SQh+5  
5.1薄膜的形成过程 N7e`6
d!  
5.2薄膜的微观结构 jMN)?6$=  
5.3薄膜的成分 &?SX4c~?u  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Sp 7u_Pq{  
5.5薄膜微观结构和改善 lbQ6 a  
习题 lemVP'cn
 
参考文献 Qo'yS"g<9)  
第三篇光学薄膜检测技术 6yE'/VB<  
第6章薄膜透射率和反射率测量 O{PW  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 f"vk# 3  
6.2薄膜反射率的测试 uzHT.
iBn  
6.3薄膜反射率的测量 J6*f Uh  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 n4^~gT%b5]  
6.5总结 Ee{`Y0  
习题 Wu4ot0SZ  
参考文献 tS?a){^:c  
第7章薄膜的吸收和散射测量 qOW#Q:T  
7.1激光量热计基本原理 8V6=i'GK  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 j3 6,w[Y:  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 y&1%1 #8F  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7e1dEgn  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 lwVk(l Z  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 8jRs=I  
7.7总结 :%N*{uy  
习题 tC^ 1}  
参考文献 Iha[Gu  
第8章薄膜光学常数的测量 *~cqr
 
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数
BY3bpR  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Ffnk1/Zy  
8.3薄膜波导法 '0]r<O  
8.4光学薄膜厚度的测试 <O.Kqk* nq  
8.5总结 +fM&su=wl  
习题 J5;5-:N  
参考文献 `AR"!X  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 (/&;jV2DD[  
9.1薄膜的力学特性检测技术 im8 -7Xt  
9.2薄膜器件的环境试验 >W r$Y{  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 a.?v*U@z@#  
9.4总结 ?{eY\I  
习题 !K[/L< Kv  
参考文献 N&"QKd l  
附录 Rv,82iEKs  
附录A复数与复数运算 kQLT$8io  
A.1复数的概念 zDB
"r  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 (VyA6a8  
A.3复数在物理中的运用 UgR:qjI  
附录B矩陈及矩陈运算 RAV^D.  
B.1矩陈的定义 Y.>kO  
B.2矩陈运算 ?mMW*ico  
附录C光的电磁理论基础 J_PH7Z*=,  
C.1振动与波 %%&e"&7HE  
C.2电磁波 1SUzzlRx  
C.3麦克斯韦方程 ZZ("-#?  
C.4平面电磁波 i E9\_MA  
C.5平面电磁波性质 T^]7R4Fg  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ?W!ry7gXO  
附录D光的干涉 !4t`Hv?'  
D.1波的叠加原理 T6uMFD4 |  
D.2杨氏干涉 :=9<  
D.3平板的表面干涉 (0OM"`j  
D.4光的空间相干性和时间相干性 -(9O6)Rs$  
附录E光的偏振 G6V/SaD  
E.1自然光和偏振光 GF'f[F6oI  
E.2偏振光与Jones矩陈 MU1E_"Z)  
E.3偏振光的获得 XFQNr`  
E.4偏振光的检验 H-
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