现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 #f[yp=uI:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 J&5|'yVX  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 2c}kiqi{  

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第一篇光学多层膜设计 0Y\u,\GrxW  
第1章光学薄膜特性的理论计算 TGg*(6'z  
1.1单色平面电磁波 Ws=
J)2q  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 h"[ ][  
1.3光学薄膜特性的理论计算 4m~\S)ad  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 "k+QDQ3=  
习题 %K zURv  
第2章光学薄膜的设计理论 '?QZ7A  
2.1矢量作图法 JL<}9K  
2.2有效界面法 #pf}q+A  
2.3对称膜系的等效层 0j3j/={|.1  
2.4导纳图解技术 L-fAT'!'  
习题 !a0HF p$9  
第3章光学薄膜系统的设计 i
oZ2J"s  
3.1减反射膜 <-
$4?}  
3.2分束镜 '0[l'Dt'  
3.3高反射膜 4kx#=MLt
 
3.4干涉截止滤光片 /({5x[  
3.5带通滤光片 TiH(HW|:  
3.6特殊膜系 BYu|loc  
习题 \PL92HV  
参考文献 FC(m)S2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &vLZj  
第4章薄膜制备技术 `P'{HT  
4.1真空淀积工艺 P afmHXx  
4.2光学薄膜材料 aFhsRE?YC=  
4.3薄膜厚度监控艺术 hj-M #a  
4.4膜层厚度的均匀性 0\.y0 K8  
习题 9!o:)99U  
参考文献 ,"DkMK4%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 L-Z1Xs  
5.1薄膜的形成过程 ~,ac{%8x  
5.2薄膜的微观结构 @mW0EJ8bb  
5.3薄膜的成分 2
f4*r
^  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 'I;pS)sb  
5.5薄膜微观结构和改善 b+hZ<U/  
习题 <;=X7l+  
参考文献 N!hp^V<7  
第三篇光学薄膜检测技术 n`Cm
bM@@  
第6章薄膜透射率和反射率测量 G3KiU($V  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 &bTadd%0  
6.2薄膜反射率的测试 TMGZHOAt  
6.3薄膜反射率的测量 HAP9XC(F]  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 +>{{91mN  
6.5总结 {R&F_51)V  
习题 0^zu T  
参考文献 \\BblzGMR  
第7章薄膜的吸收和散射测量 {DAwkJvb]  
7.1激光量热计基本原理 <` HLG2  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 b5KX`
r  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 J1g `0XH  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 i |cSO2O+  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 UtY<R  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 DOf[?vbu  
7.7总结 <^OGJ}G  
习题 RfFeAg,]/  
参考文献 Ws'3*HAce  
第8章薄膜光学常数的测量 ~G,n>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 lZ'NLbK  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 h2K1|PUKl[  
8.3薄膜波导法 DL<r2h  
8.4光学薄膜厚度的测试 dfO84Z} 5  
8.5总结 %5$yz|:  
习题 BIS5u4  
参考文献 A03,X;S+  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 KTd4pW?w  
9.1薄膜的力学特性检测技术 HtPasFrJ  
9.2薄膜器件的环境试验 *b~$|H-\  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 x_AG=5OJX,  
9.4总结 XoL9:s(m~  
习题 =l?5!f9  
参考文献 }D{y u+)  
附录 Qgf\gTF$r+  
附录A复数与复数运算 ^DM^HSm  
A.1复数的概念 tBp dKJn##  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 J_<ENs-  
A.3复数在物理中的运用 6xvyhg#B  
附录B矩陈及矩陈运算 _.yBX\tf[  
B.1矩陈的定义 8?J\  
B.2矩陈运算 e%u1O-*  
附录C光的电磁理论基础 ESL(Mf'  
C.1振动与波 7P|GKN~  
C.2电磁波 Ks7DoXCvE  
C.3麦克斯韦方程 !*'uPw:l2  
C.4平面电磁波 vrLI`3n]  
C.5平面电磁波性质 <Pg4>  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 rq:R6e  
附录D光的干涉 d*4fl.
 
D.1波的叠加原理 o&-q.;MY  
D.2杨氏干涉 58ev (f  
D.3平板的表面干涉 -[^aWNqyJ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 uF/l,[0v  
附录E光的偏振 E0o=  
E.1自然光和偏振光 L?23Av0W  
E.2偏振光与Jones矩陈 %nSLe~b  
E.3偏振光的获得 YP5V~-O/  
E.4偏振光的检验 gR )xw)!  
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