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摘要 zh) &6'S\ _-f LD 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 }4>u_)nt :Pq&l.
OD'~t,St /K!)}f(6 光栅详细说明 w5z]=dN /6rjGc
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