现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 QPZ|C{Ce  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 FCp\w1+  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 IPTEOA<M[  

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第一篇光学多层膜设计 ^?Y x{r~9  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ?z/ )Hkw  
1.1单色平面电磁波 W&'[Xj  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 \|wUxijJ*,  
1.3光学薄膜特性的理论计算 p2)563#RS
 
1.4光学多层膜内的电场强度分布 YB?5s`vr9d  
习题 q"OJF'>w5  
第2章光学薄膜的设计理论 [(d))(M$|  
2.1矢量作图法 *y@Xm~ld  
2.2有效界面法 e^ ZxU/e  
2.3对称膜系的等效层 c:OFBVZ   
2.4导纳图解技术 VKtZyhK"h  
习题 g UAx8=h  
第3章光学薄膜系统的设计 ~MZEAY9  
3.1减反射膜 'G|M_ e  
3.2分束镜 2*5]6B-(  
3.3高反射膜 PQJI~u9te}  
3.4干涉截止滤光片 aZBS!X  
3.5带通滤光片 d:"#_  
3.6特殊膜系 -&UP[Mq  
习题 !$1'q~sO  
参考文献 wiE'6CM  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 +/|;<K5_LI  
第4章薄膜制备技术 4IUdlb  
4.1真空淀积工艺 \(g/::|  
4.2光学薄膜材料 J6s@}@R1  
4.3薄膜厚度监控艺术 dF#`_!4pbf  
4.4膜层厚度的均匀性 (h$[g"8  
习题 -
,Y[`(q  
参考文献 k&dLg5O  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 qwd7vYBc,  
5.1薄膜的形成过程 %k8H
'w\  
5.2薄膜的微观结构 k&M
9Hn2  
5.3薄膜的成分 KO''B or  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 t7; ^rk*  
5.5薄膜微观结构和改善 *F)+- BB  
习题 :rcohzfa  
参考文献 6{8
dv9tK  
第三篇光学薄膜检测技术 =j&qat  
第6章薄膜透射率和反射率测量 mQiVTIP3[O  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 eX0ASI9  
6.2薄膜反射率的测试 -]$=.0 l  
6.3薄膜反射率的测量 6U!zc]>  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 "%[aWb  
6.5总结 3{"MN=  
习题 |Js?@  
参考文献 "gQA|NHwV  
第7章薄膜的吸收和散射测量 G0^,@jF?b  
7.1激光量热计基本原理 wrJ:jTh  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 :.J]s<J(F  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?K9zTas@  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 |(Q !$  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \'[C_+;X  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 G~$[(Fhk  
7.7总结 L32[IL|  
习题 J~=tR1k  
参考文献 16Gp nb  
第8章薄膜光学常数的测量 S1&Df%Ra  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 WJJwhr  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 EDAVU  
8.3薄膜波导法 ?$Tp|<tx#  
8.4光学薄膜厚度的测试 66jL2XU<  
8.5总结 *$/!.e  
习题
oD?c]}3  
参考文献 ^\Gukkmh}  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 n+qa/<  
9.1薄膜的力学特性检测技术 A!n)Fpk  
9.2薄膜器件的环境试验 azT@S=,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ZBcT@hxm  
9.4总结 $1< ~J  
习题 @Z{!T)#}j  
参考文献 9d8bh4[  
附录
+GDT@,/  
附录A复数与复数运算 Oqy&V&-C  
A.1复数的概念 FXd><#U  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 P S [ifC  
A.3复数在物理中的运用 KDUa0$"  
附录B矩陈及矩陈运算 \&#pJBBG  
B.1矩陈的定义 W2-1oS~ma  
B.2矩陈运算 d|Q_Z@;JF  
附录C光的电磁理论基础 '$m uA\  
C.1振动与波 LkA_M'G  
C.2电磁波 [t.x cO  
C.3麦克斯韦方程 u?-X07_  
C.4平面电磁波 G zw $M  
C.5平面电磁波性质 =U)e_q  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 %g+*.8;"b  
附录D光的干涉 +,$ SZO]  
D.1波的叠加原理 e/*T,ZJ  
D.2杨氏干涉 |bWvQdN  
D.3平板的表面干涉 "T0s7LWp  
D.4光的空间相干性和时间相干性 t.YY?5l  
附录E光的偏振 @Fs2J_v  
E.1自然光和偏振光 ~
wl4  
E.2偏振光与Jones矩陈 "oc&uj  
E.3偏振光的获得 >56I`[)  
E.4偏振光的检验 !T3b]0z  
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