现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 H.MI5O(Q  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 5rik7a)Z]  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 S,he6zS  

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^1];S^nD  
第一篇光学多层膜设计 Gd85kY@w7  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Q~Wqy~tS
 
1.1单色平面电磁波 NzvXN1_%  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 tR$NRMZ.  
1.3光学薄膜特性的理论计算 P&Vv/D  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 (4nq>;$3  
习题 #H~64/  
第2章光学薄膜的设计理论 s~X%Y<9l  
2.1矢量作图法 vFm
Z<C' )  
2.2有效界面法 gB33?  
2.3对称膜系的等效层 +ZP7{%  
2.4导纳图解技术 "w<#^d_6  
习题 W"{N Bi  
第3章光学薄膜系统的设计 BI@[\aRLQ  
3.1减反射膜 |FRg\#kf%  
3.2分束镜 p!%pP}I  
3.3高反射膜 FS.L\MjV]U  
3.4干涉截止滤光片 xAm6BB c  
3.5带通滤光片 YoFxW5by  
3.6特殊膜系 VIf.q)_k  
习题 pA4xbr2  
参考文献 J{G?-+`  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 K|=A:  
第4章薄膜制备技术 @=u3ZVD  
4.1真空淀积工艺 ]ZS OM\}  
4.2光学薄膜材料 jPkn[W# 6  
4.3薄膜厚度监控艺术 <#4h}_xA%  
4.4膜层厚度的均匀性 >H,*H;6  
习题 ^
-'fW7[m  
参考文献 qH_Dc=~la  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 COlaD"Y  
5.1薄膜的形成过程 uB?ZcF}Tk  
5.2薄膜的微观结构 veECfR;  
5.3薄膜的成分 x,'!gT:j  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 dj%!I:Q>u  
5.5薄膜微观结构和改善 LDa1X2N  
习题 klhtKp_p  
参考文献 \_fv7Fdp{  
第三篇光学薄膜检测技术 `Q,H|hp;k;  
第6章薄膜透射率和反射率测量 j] [,J49L  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ],].zlN  
6.2薄膜反射率的测试 }Y4qS  
6.3薄膜反射率的测量 ?aMOZn?  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 lu/ (4ED  
6.5总结 &%Tj/Qx  
习题 }<:}XlwT%  
参考文献 g9F?z2^  
第7章薄膜的吸收和散射测量 2:ylv<\$  
7.1激光量热计基本原理 C7AUsYM  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 T51 `oZ`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 P!k{u^$L  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 kcxAd   
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 }ad|g6i
`  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 / XIhj  
7.7总结 SgOheN-  
习题 P0b7S'a4!  
参考文献 QmIBaMI#  
第8章薄膜光学常数的测量 3;Fhg!ZO  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~Cjn7  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 I2Yz#V<%ru  
8.3薄膜波导法 zdH kG_PT  
8.4光学薄膜厚度的测试 k VQ\1!  
8.5总结 D1;QC  
习题 L/^I*p,  
参考文献 xId.GWY1  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Y6d@h? ht  
9.1薄膜的力学特性检测技术 I<tm"?q0  
9.2薄膜器件的环境试验 bN@ l?w  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 sx<%2  
9.4总结 n'w.; q  
习题 EJ@ ~/)<  
参考文献 _J[P[(ab  
附录 Yz<1 wt7;  
附录A复数与复数运算 v*yuE5{  
A.1复数的概念 F4{IEZ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 )\^-2[;  
A.3复数在物理中的运用 Rws3V"{`[  
附录B矩陈及矩陈运算 POR\e|hRT]  
B.1矩陈的定义 X[TR3[1}  
B.2矩陈运算 FC"8#*x  
附录C光的电磁理论基础 >lM l  
C.1振动与波 c[Zje7 @  
C.2电磁波 -|\ZrE_h  
C.3麦克斯韦方程 2GStN74Xr  
C.4平面电磁波 7"xd1l?zz  
C.5平面电磁波性质 >yh2Lri  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 b<u3 hln%,  
附录D光的干涉 WOf 4o  
D.1波的叠加原理 C{wEzM:  
D.2杨氏干涉 BFW&2  
D.3平板的表面干涉 <b<j=_
3  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;6hOx(>`=  
附录E光的偏振 vVcob}ZH  
E.1自然光和偏振光 5rUdv}.  
E.2偏振光与Jones矩陈 h`.&f  
E.3偏振光的获得 YT8F#t8  
E.4偏振光的检验 7j)8Djzp|  
…… *HB-QIl  
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