现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 y
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Y\T*8\h_[  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 x~GV#c  

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第一篇光学多层膜设计 2t { Cpw  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {K'SOhH4?  
1.1单色平面电磁波 81_3{OrE<  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 N,ik&NIWy  
1.3光学薄膜特性的理论计算 S'-<p<;D\B  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 dW7dMx  
习题 LM'` U-/e$  
第2章光学薄膜的设计理论 }bznx[4?I  
2.1矢量作图法 ;_i0@@J  
2.2有效界面法 DuvP3(K  
2.3对称膜系的等效层 ^@L[0Z`  
2.4导纳图解技术 <nsl`C~6g0  
习题 ~rCn
ST  
第3章光学薄膜系统的设计 !BEOeq@2.  
3.1减反射膜 [Pp#l*  
3.2分束镜 _3p:q.  
3.3高反射膜 /^[)JbgB  
3.4干涉截止滤光片 LO61J_J<  
3.5带通滤光片 w=e,gNO  
3.6特殊膜系 w#mnGD  
习题 na']{a1K  
参考文献 ;oFaDTX]  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 @@|E1'c7  
第4章薄膜制备技术 *gz{:}NX  
4.1真空淀积工艺 3R#<9O  
4.2光学薄膜材料 !P Gow  
4.3薄膜厚度监控艺术 G^m
k<pH  
4.4膜层厚度的均匀性 ,.`^Wx6F  
习题 =w A< F  
参考文献 g&0GO:F`  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 w78Ius,  
5.1薄膜的形成过程 paBGJ~{=  
5.2薄膜的微观结构 T%a]3  
5.3薄膜的成分 b$R>GQ?#  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 oh@r0`J]x  
5.5薄膜微观结构和改善 sf*SxdoZU  
习题 b"FsT  
参考文献 y]jh*KD[  
第三篇光学薄膜检测技术 |C&eH$?~=R  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3+|6])Hi1  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 jATU b-  
6.2薄膜反射率的测试 ?ha}&##  
6.3薄膜反射率的测量 `u>BtAx8  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 X3m?zQbhv  
6.5总结 ygfqP  
习题 Fc
r@Un'  
参考文献 c&Zm>Qo[  
第7章薄膜的吸收和散射测量 oNU* q.Q  
7.1激光量热计基本原理 ;W+-x]O  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 17i^|&J6}:  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;%Da {  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ?*s!&-KI  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 GO)rpk9  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 BkZ%0rw%  
7.7总结 Mc}x]j`f  
习题 kx=AX*I  
参考文献 tJu<#hX  
第8章薄膜光学常数的测量 Y+jKP*ri  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ,?d%&3z<a  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 |fI%L9  
8.3薄膜波导法 Ksp;bfe  
8.4光学薄膜厚度的测试 iE
Oyc59  
8.5总结 *tO<wp&  
习题 ~Op1NE  
参考文献 ]Cz16e&=2  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 K`X2N  
9.1薄膜的力学特性检测技术 .~U9*5d  
9.2薄膜器件的环境试验 ^]DWrmy  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 OX`n`+^D  
9.4总结 Kmnr}Lp9  
习题 ^`!Daqk  
参考文献 >eTlew<5  
附录 *@& "MZ/M  
附录A复数与复数运算 1%@~J\qF  
A.1复数的概念 xKr,XZu  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Ww(_EW  
A.3复数在物理中的运用 lewDR"0Kx  
附录B矩陈及矩陈运算 =z3jFaZ  
B.1矩陈的定义 w?tKL0c  
B.2矩陈运算 3-R3Qlr  
附录C光的电磁理论基础 6-=_i)kzq  
C.1振动与波 :}JZKj!}M  
C.2电磁波 u7=[~l&L  
C.3麦克斯韦方程 ~/U0S.C  
C.4平面电磁波 ?},ItJ#>)q  
C.5平面电磁波性质 LbR-uc?x  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 h0 Sf=[>
z  
附录D光的干涉 *e6|SZ &3  
D.1波的叠加原理 vOK;l0%  
D.2杨氏干涉 +mA=%?l  
D.3平板的表面干涉 ffM(il/2  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _6m3$k_[MJ  
附录E光的偏振 S
>,I&`yi  
E.1自然光和偏振光 Flxo%g};  
E.2偏振光与Jones矩陈 ja;5:=8A5  
E.3偏振光的获得 2f!oA~|2  
E.4偏振光的检验 RNdnlD#P  
…… Wn^^Q5U#  
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