现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 U>tR:)  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 n%E,[JT  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 -K|1w'E  

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第一篇光学多层膜设计 {-A|f  
第1章光学薄膜特性的理论计算 x`E<]z*w}  
1.1单色平面电磁波 `gSMb UgF  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 F ~A$7  
1.3光学薄膜特性的理论计算 f' A$':Y  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 A f'&, 1=q  
习题 99yWUC,  
第2章光学薄膜的设计理论 rKgl:sj+  
2.1矢量作图法 Yxq!7J  
2.2有效界面法 h@RpS8!Bi  
2.3对称膜系的等效层 ^E}?YgNp  
2.4导纳图解技术 bi8_5I[  
习题 1!uBzO6/$  
第3章光学薄膜系统的设计 jNj;#C)  
3.1减反射膜 suEK;Bk9  
3.2分束镜 >0HH#JW  
3.3高反射膜 /&Q{B f  
3.4干涉截止滤光片 ;nSF\X(;{  
3.5带通滤光片 XFWpHe_ L  
3.6特殊膜系 T0 K!Msz  
习题 E2DfG^sGV  
参考文献 B:h<iU:'D  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 X]y:uD{  
第4章薄膜制备技术 C0N :z.)4  
4.1真空淀积工艺 88HqP!m%P:  
4.2光学薄膜材料 jG>W+lq  
4.3薄膜厚度监控艺术 jPSVVOG  
4.4膜层厚度的均匀性 !hVbx#bXl  
习题 Snk+Z
Q-  
参考文献 $0$sM/%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 !E$$FvL  
5.1薄膜的形成过程 A}ZZQ  
5.2薄膜的微观结构 t:2DB)  
5.3薄膜的成分 & /8Tth86  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 1.14tS-}[4  
5.5薄膜微观结构和改善 ~| j eNT  
习题 ??F* Z"x  
参考文献 <Yki8  
第三篇光学薄膜检测技术 vAX(3  
第6章薄膜透射率和反射率测量 |gE1P/%k  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 8m"k3:e^  
6.2薄膜反射率的测试 mB-,\{)  
6.3薄膜反射率的测量 k[@P526  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 1<ag=D`F_"  
6.5总结 811>dVq3/  
习题 -rO34l  
参考文献 G
 _cJI  
第7章薄膜的吸收和散射测量 =TD`Pet  
7.1激光量热计基本原理 vH+g*A0S<  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 z>W:+W"o  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 g-qXS]y7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *73gp  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 -leX|U}k  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 c|/HX%Y  
7.7总结 nL 5tHz:e  
习题 -'Z Gc8)  
参考文献 %mC@}  
第8章薄膜光学常数的测量 6\8d6x>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 
/x49!8  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 f=^xU P  
8.3薄膜波导法 4<Vi`X7[F  
8.4光学薄膜厚度的测试 iTHwH{!  
8.5总结 ~A>fB2.pM  
习题 necY/&Ld-  
参考文献 `/sNX<mp  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 j !*,(  
9.1薄膜的力学特性检测技术 E`TZ:W]r,  
9.2薄膜器件的环境试验 * BM|luYL  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 F;Q,cg M  
9.4总结 `N\ ^JAGW  
习题 |2do8z  
参考文献 gBqDx|G  
附录 uZ?P
{E,K  
附录A复数与复数运算 ZN8j})lE  
A.1复数的概念 jZ.yt+9  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 dWd%>9}  
A.3复数在物理中的运用 'OnfU{Ai  
附录B矩陈及矩陈运算 ?("O.<
 
B.1矩陈的定义 jt}Re,  
B.2矩陈运算 SXw r$)4_  
附录C光的电磁理论基础 B''yW{  
C.1振动与波 +iC:/CJL  
C.2电磁波 m%L!eR  
C.3麦克斯韦方程 hJM&rM7  
C.4平面电磁波 5az%yS  
C.5平面电磁波性质 q=t!COS  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Gj?Zbl <  
附录D光的干涉 ;7\Fx8"s[  
D.1波的叠加原理 `ArUoYbB  
D.2杨氏干涉 d.+*o  
D.3平板的表面干涉 3A,N1OXG  
D.4光的空间相干性和时间相干性 -H%v6E%yh  
附录E光的偏振 O_;BZzT  
E.1自然光和偏振光 _&l8^MD  
E.2偏振光与Jones矩陈 I<2`wL=  
E.3偏振光的获得 !*v% s  
E.4偏振光的检验 P|Aac,nE+^  
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