EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-04-27 12:36 阅读:2607
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 wl4yNC  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, @\a- =  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 `:&{/|uP7  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 622).N4  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 slbV[xR  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. bPEAG=l"-  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) j!l(ReGb  
2.折射率n &2DW  
3.吸收系数k U+z&jdnhDR  
4.双折射率 nHX@  
5.能隙(Eg) >4c 1VEi  
6.表面粗糙度和损伤 v3B ^d}+.  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) _\6-]  
8.薄膜温度特性 x8^Dhpr6  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Hs9uDGWp  
技术参数 7%tn+  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns ]KmYPrCl0  
2. 重复性:      ± 0°(△)   NTC,Vr\A  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 { !w]t?h  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) Kt-@a%O0  
5. 入射角:       0°(70°可选) ;AaF;zPV  
6. 测试速度:    小于 15 s R *U>T$  
7. 光斑直径:    小于 50 nm n1ICW 9  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 1/ a,7Hl  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: Gs%kqD{=  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 0bor/FU-d  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com nsPM`dz/  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com JGtdbD?Fw  
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