EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-04-27 12:36 阅读:2918
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 6jyS]($q  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, < Ih)h$8`  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 #X1iig+  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 ]06orBV  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 L?:.8k`d  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. *i3\`;^=  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) L+VqTt  
2.折射率n ]@LeyT'cY  
3.吸收系数k : E`/z@I  
4.双折射率 O1]L4V1iH  
5.能隙(Eg) 3msb"|DG  
6.表面粗糙度和损伤 xDJ@MW#  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) Z'=:Bo{  
8.薄膜温度特性 r Z)?uqa  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 t*J *?Ma  
技术参数 O\0]o!  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns L{PH8Xl_  
2. 重复性:      ± 0°(△)   <Cv 6wC=  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 W@S>#3,  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) X^Dklqqy  
5. 入射角:       0°(70°可选) ]c/k%] o~  
6. 测试速度:    小于 15 s &}}UdJ`  
7. 光斑直径:    小于 50 nm iR(=< >  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 m ^?a/  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: l5; SY  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 lJlyfN  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com y(81| c#  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com hJ|zX  
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