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五维光学调整架 ~x0-iBF  
技术参数： 48~m=mI  
1. X,Y,Z移动距离分别为: mf*9^}l+Zn  
      X向: ±7.5mm q5I4'6NF  
      Y向: ±9   mm ~/|unV  
      Z向: ±10 mm `G ;Lz^  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; EMW4<na[  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 (v'lb!j^#  
                   0.005 WB=<W#?w7%  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 =|6^)lt$
 
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° PO%yWns30o  

图片:IMG_2243.jpg

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3h D2C'KD  

图片:IMG_2245.jpg

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图片:IMG_2246.jpg