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五维光学调整架 E0i!|H  
技术参数： =sAOWI,8!  
1. X,Y,Z移动距离分别为: 1Xcj=I-4  
      X向: ±7.5mm mr>E'd.'  
      Y向: ±9   mm P2>_qyX  
      Z向: ±10 mm 1.2qh"#  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; %7[d5[U~ZA  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 1h]nE/T.O  
                   0.005 9u^za!pE  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 3kr.'O  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° 1jK2*y  
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