我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： FQ 0 ; %Z
低真空时间: ?.-+U~
0000——3.0 E0 8分钟 <Vt"%C
但此时不能开启高阀 6shN%
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 ?Vh#Gr
0000——8.0E-1 65分钟 ,*9gy$
高真空时间: E:B< _
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 Rxr?T-
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） M<= e~';H
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 4M0p:Ey '
抽真空环境： <e S+3,
温度：26℃-28℃ 5zZQt +Ip
湿度：45% \|B\7a'4
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） ;gAL_/ _
可是现在不知道为什么抽不动了。 3A =\Mb
主要表现在 8 .K; 2
0000——3.0 E0 8分钟 ]
M#LB&Pe
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 <gFisc/#r
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ?|Z~mE
扩散泵油很好，很清亮。 | +[Y_j
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