我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： + {&++^(}a
低真空时间: 9y*pn|A[F
0000——3.0 E0 8分钟 Ft 2u&Rtx
但此时不能开启高阀 6z1>(Za7>
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 I~>Ye<g#
0000——8.0E-1 65分钟 0 t0m?rVW
高真空时间: Si=u=FI1e
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 x| A{|oFC
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） 6$\'dkufQ
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 j<-YK4.t
抽真空环境： &&|c-mD+*
温度：26℃-28℃ @<=<?T> 1
湿度：45% 1y6{3AZm<
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） l'#a2Pl
可是现在不知道为什么抽不动了。 t|cTl/i
4
主要表现在 Jrw R:_+|
0000——3.0 E0 8分钟 =o,6iJ^?$m
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 9>[ *y8[:0
使用丙酮检漏没有发现漏点。 Tf.DFfV#y
扩散泵油很好，很清亮。 W< :7z
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