我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： f&}k^>N#3
低真空时间: $tz;<M7B
0000——3.0 E0 8分钟 vLR~'" `F
但此时不能开启高阀 kHXL8k#T
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 cU ? 0(z7
0000——8.0E-1 65分钟 ^[]}R:
高真空时间: )p
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8.0E-1——4.8E-3 65分钟 i7IS X>%
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） 20vXSYa~
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 uIcn{RZ_z
抽真空环境： R>,:A%?^b5
温度：26℃-28℃ u`y><w4i
湿度：45% Of{/t1o?
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 1c<=A!"{
可是现在不知道为什么抽不动了。 +
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主要表现在 m_=$0m J$
0000——3.0 E0 8分钟 ^\\Tx*#i
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 ~\=1'D^6CK
使用丙酮检漏没有发现漏点。 d@ Y}SW TB
扩散泵油很好，很清亮。 {LX.iH9}l
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