[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： g,]GzHV1  
低真空时间: ].r~?9'/  
0000——3.0 E0        8分钟 !ZrU@T  
但此时不能开启高阀 \qj(`0HG  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 0l+[[ZTV  
0000——8.0E-1        65分钟 g?i0WS  
高真空时间: 7/b\N
LeJ'  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    y0_z_S#gO  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） #4BwYj(Sl  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    !}PZCbDhL  
抽真空环境： mfCp@1;26  
  温度：26℃-28℃ ^M6R l0  
  湿度：45% fobnK~2  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） oo2CF!Xy  
可是现在不知道为什么抽不动了。 <b#1L  
主要表现在 Dlqvz|X/  
0000——3.0 E0        8分钟 S";c7s  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 &ku.Q3xGs  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ^LAnR>mz^r  
扩散泵油很好，很清亮。 Ssg1p#0J  
>7,?X_:A-1  
^Cy=L]  
B3g#)  

及盼能解决的办法！

那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。

不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！

油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)

冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃

我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ X?o6=)SC|  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 ~r_2V$sC2  
你检查一下，

机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观

低真空时间: Nt\0) &b  
0000——3.0 E0        8分钟  {eVv%sbq  
但此时不能开启高阀 aW}d=y[  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  ?aI.Z+#  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ ~~=]_lwyK%  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）

看看你的扩散泵油有没有氧化