[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： 0eIR)#j*  
低真空时间: jws(`mIf\  
0000——3.0 E0        8分钟 uEY5&wX`  
但此时不能开启高阀 C<ljBz`,t  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 )/w2]d/9  
0000——8.0E-1        65分钟 umYdr'p!v  
高真空时间: ?Ci\3)u,P  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    >n62csO  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） SuSZ,>  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    Bf'(JJ7&N  
抽真空环境： =X):Zi   
  温度：26℃-28℃ Pr"ESd>Y  
  湿度：45% <Do89  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） t@v8>J%K  
可是现在不知道为什么抽不动了。 ([A;~ p;n  
主要表现在 _\zfXHp  
0000——3.0 E0        8分钟 L M[<?`%p  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 hCrgN?Mz  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 mbK$Wp#  
扩散泵油很好，很清亮。 E&AR=yqk  
}M@pdE  
"k/x+%!Spc  
%|~UNP$  

及盼能解决的办法！

那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。

不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！

油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)

冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃

我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ /swTn1<Y  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 F"q3p4-<>  
你检查一下，

机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观

低真空时间: WN0^hDc-  
0000——3.0 E0        8分钟  Pvtf_Qo^  
但此时不能开启高阀 OTRTa{TB  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  h_cZ&P|  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ r1[0#5kJ;J  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）

看看你的扩散泵油有没有氧化