我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： xWRkg $A
低真空时间: aI. 5w9
0000——3.0 E0 8分钟 ,c]<Yu
但此时不能开启高阀 ! 2=m
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低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 N>V\
0000——8.0E-1 65分钟 %"[`
高真空时间: (#e,tu
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 K92nh/}y
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） pu- X -j
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 r..&6-%:N
抽真空环境：
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温度：26℃-28℃ H8!;
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湿度：45% < @.!\
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） {!0f.nv
可是现在不知道为什么抽不动了。 i<\ WRzVT
主要表现在 =Ju%3ptH0
0000——3.0 E0 8分钟 :,Zs {\oI3
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 z:1"d
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使用丙酮检漏没有发现漏点。 } "QL"%
扩散泵油很好，很清亮。 62.)fCQ^
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