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    [求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

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    离线wsxiswu
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-05
    我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： FMhwk"4L  
    低真空时间: T[U&Y`3g  
    0000——3.0 E0        8分钟 U`K5 DZ~  
    但此时不能开启高阀 I !9u](\0  
    低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 ?VEJk,/k  
    0000——8.0E-1        65分钟 SEXeK2v  
    高真空时间: <8Nh dCO6  
    8.0E-1——4.8E-3      65分钟    b')CGqbbmT  
    4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） ySP1WK  
    4.5E-3——2.5E-3      60分钟    ,& =(DJ  
    抽真空环境： 5fv eQI~!  
      温度：26℃-28℃ l -_voOP  
      湿度：45% VF!?B>  
      烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） \hQ[5>  
    可是现在不知道为什么抽不动了。 E}c(4RY  
    主要表现在 <i^Bq=E<rJ  
    0000——3.0 E0        8分钟 6g8{;6x  
    真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 zCL/^^#  
    使用丙酮检漏没有发现漏点。 ()JM161  
    扩散泵油很好，很清亮。 C>$5<bx  
    '[I_Iu#,  
    P[n` X  
    LT!B]y  
     
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-07-05
    及盼能解决的办法！
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    离线windsnow
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-07-06
    那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。
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    离线zzh1011
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-07-06
    不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-07-07
    油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2008-07-07
    冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃
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    离线lsnanjing
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    只看该作者 6楼 发表于: 2008-07-09
    我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ VjtI1I  
      南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 r[vMiVb  
    你检查一下，
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2008-07-10
    机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2008-07-10
    低真空时间: IPbdX@FeV  
    0000——3.0 E0        8分钟  q]0a8[]3  
    但此时不能开启高阀 Z@nM\/vLA  
    低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  Dj;h!8t.  
    这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ bS3qX{5  
    这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 9楼 发表于: 2008-07-13
    看看你的扩散泵油有没有氧化
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