我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： h;UdwmT
低真空时间: GnrW {o
0000——3.0 E0 8分钟 a 8hv .43
但此时不能开启高阀 rI66frbj
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 lEb R) B,
0000——8.0E-1 65分钟 `[ ` *@O(y
高真空时间: .Xz"NyW
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 I u~aTgHX%
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） %802H%+
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 ]AA*f_!
抽真空环境： rn[}{1I33Q
温度：26℃-28℃ ?Gv!d
湿度：45% I cA\3j
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） \]#;!6ge
可是现在不知道为什么抽不动了。 C\ 2 >7
主要表现在 m *bKy;'8
0000——3.0 E0 8分钟 N T9- j#V
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 _E<O+leWf
使用丙酮检漏没有发现漏点。 dms:i)L2
扩散泵油很好，很清亮。 y#Za |nt
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