我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： Hm1C|Qb
低真空时间: $ 'HiNP
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0000——3.0 E0 8分钟 u=k\]W-
但此时不能开启高阀 P?\rRB
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 % %kl R{
0000——8.0E-1 65分钟 Wf>UI)^n
高真空时间: 7ug mZO}lL
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 ) ` '
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） TkmN.@w _C
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 nvgo6 *
抽真空环境： !|,=rM9x
温度：26℃-28℃ }+ I
8l'
湿度：45% Pbd#Fu ;
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 6' |J
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可是现在不知道为什么抽不动了。 X[grV e
主要表现在 rTW1'@E
0000——3.0 E0 8分钟 /vSFQ}W
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 fJC)>doM
使用丙酮检漏没有发现漏点。 '^lrGO6
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扩散泵油很好，很清亮。 st'Y j
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