主要镀膜材料及其性能和用途 a"&@G=M@d
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 aD8cqVhM3&
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 lSC3m=4g
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼,钽,电子枪 增透膜、多层膜 cRsLt/Wr
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 t*5d'aE`/
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼,钽,电子枪 增透膜 ndT:,"s
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 s$YKdtR
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪,Al2O3 透明导电膜 (P~Jzp9u
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼,钽,钨 增透膜 2x{@19w)C
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼,钽,钨 增透膜、多层膜 T5)Xl 'Q
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 {H#1wu^]O$
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨,电子枪 增透膜 2/sD#vC
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 9Gfm?.O5
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 ?t$sju(\
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼,钽,钨 增透膜、保护膜 @4^5C-
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 ePa:_?(
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 cEnkt=
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 YN_#x
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 6_=qpP-?
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 YR'?fr
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽,钨电子枪 增透膜、多层膜 ,w,>pO'[
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼,钽,铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 Z^`&