主要镀膜材料及其性能和用途 {EyWSf"
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 !PJp()
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 3?<LWrhV3
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼,钽,电子枪 增透膜、多层膜 ~SYW@o
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 yMJ(Sf
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼,钽,电子枪 增透膜 F?b"Rv
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 "$A5:1;
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪,Al2O3 透明导电膜 O-qpB;|
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼,钽,钨 增透膜 !>)o&sM
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼,钽,钨 增透膜、多层膜 )8_MkFQe
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 +w8$-eFY
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨,电子枪 增透膜 JHg
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氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 m`Pk )c0
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 OZQN&7
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼,钽,钨 增透膜、保护膜 ln_[@K[oX
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 LU+}iA)
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 YhL^kM@c
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 q5\iQ2f{WV
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 T%SK";PAU$
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 ^n*:zmD
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽,钨电子枪 增透膜、多层膜 Dfy=$:Q
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼,钽,铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 W;|%)D)y
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼,电子枪 增透膜 5.QY{+k
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 nRs:^Q~o
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪,钨 红外膜 E_Fm5zb?X
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼,钽,电子枪 红外膜 06[HE7
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼,钽,电子枪 多层膜 q$'[&&