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摘要 ,vi6<C\ OwC{ Ad{ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 mznE Cy
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p<a~L~xH6 建模任务 ku v< Y0'~u+KS`5  ,J*#Ixe} 概述 "(F:'J} X bxz6
>> •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r-BqIoVT •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nNM)rW NLWj5K)1P
 Re\V<\$J z81 ` Lhg6 光线追迹仿真 #5kg3OO 5[qx5|O •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5#? HL •单击go！ yw ?UA •获得了3D光线追迹结果。 `_e 1LEH Q5v_^O<!
 @h\u}Ee My >{;n=} 光线追迹仿真 2ap0/l[ m>?{flO •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 UD r@ •单击go！ [.iz<Yh •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n47v5.Wn T%:W6 fH7
 |N>TPK&Xt Hq$?-%4 场追迹仿真 Ih0kd i n.xW"omN •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RV:%^=V- •单击go！ VSt)~ Xn3Ph!\Z5e  7l3sd5
B[O1^jdO 场追迹仿真（相机探测器） F&lvofy23 "M.vu}~> •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 wg= ge]E5 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 uN1O(s x-/ `c
 dw!cDfT+ Og`w ~!\ 场追迹仿真（电磁场探测器）
u m[nz •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #yk
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RS~jHwIh 场追迹仿真（电磁场探测器） h+! Ld^'c
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