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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 3小时前
    摘要 xK),:+G(  
    7{+Io  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 X:SzkkVl7  
    o(X90X  
    n?e@):  
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    建模任务 Q$.V:#  
    5lHN8k=mm2  
    llaZP(pJ  
    概述 AY/-j$5+?  
    Ro'4/{}+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i5E:FS^!I  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Tu= eQS|'  
    o.A} ``  
     $~G0#JL  
    ~Miin   
    光线追迹仿真 fJn3"D'  
    $E`i qRB  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,LW(mdIe(  
    •单击go！ Xs%R]KOwt  
    •获得了3D光线追迹结果。 ))CXjwLj;  
    Ic{'H2~4,  
     q]iKz%|Z/  
    OHtgn  
    光线追迹仿真 lN)Y  
    59Tg"3xB<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K.#,O+-Kg`  
    •单击go！ B'KXQa-$O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :rTKqX&"j  
    @ yg| OA}  
     c_-" Qo  
    DX&lBV  
    场追迹仿真 l?@MUsg+  
    GLaZN4`  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _Qm7x>NT4  
    •单击go！ =2;mxJ#o  
    H)j [eZP  
    ,Ou1!`6?t  
     U+9- li  
    场追迹仿真（相机探测器） [$1: &!(!  
    j'#jnP*P  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M\\e e3Ih  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h7de9Rt  
    8u:v:>D.'  
     @pqY9_:P1  
    Xc8= 2n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Giy3eva2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r&%gjqt  
    u@=+#q~/P  
    u|m[(-`  
     S{^6iR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XI@6a9Uk  
     e'k;A{Oh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1EC-e|M.  
    {2}tPT[a(  
     #sz]PZ\  
    JAGi""3HG  
    文件信息  Z;j/K  
    LaIW,+  
     PZ  
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