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摘要 w;(`!^xv =?f\o*J) 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n1xN:A
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 p}N IZ)]$
sC Fqz[I 建模任务 T.zU erbO 6 ztM(2 [  5/v@VUzH 概述 fr%} |7 `Up Zk?k •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PXk+Vi,%k •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 W|@/<K$V t YmR<^
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0'm4
) \ 光线追迹仿真 }Z ws e%; mzz77i
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sSC yjS'T •单击go！ E{ *~>#+ •获得了3D光线追迹结果。 EF?@f{YY$n 40}8EP k)
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Znr2I 2c.~cNx`q[ 光线追迹仿真 1Ig@ gdmz A`4j=OF\ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Wm
nsD! •单击go！ J}qk:xGL •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 QUp()B1 2bS)|#v<_t
 # k1%}k= O1Gd_wDC/i 场追迹仿真 B1o y,' 9qe6hF/29 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ee]PFW28 •单击go！ z./ M^7v? /I3#WUc; Y%b
5{1
` RUr/|S 场追迹仿真（相机探测器） 1o 7
pMp= t+k"$zR •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W;coi4
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -Rhxib|< b<qv
/t)$
 B W}^ n
yf! 场追迹仿真（电磁场探测器） &3mseU •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 : 2?J#/o l
tr =_  Rx*T7*xg{
|lIkmW{ 场追迹仿真（电磁场探测器） dZm>LVjG
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 MN|y5w}$u dWE[*a\g 文件信息 .
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