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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 3小时前
    摘要 -z ID x  
    iJ ($YvF4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 T]^62(So  
    wx]0p  
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    建模任务 =Z{O<xw'  
    >1.X*gi?-  
    g!FuY/%+  
    概述 7LfAaj  
    )!3V/`I  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /,BD#|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^a/gBC82x  
    _F4Ii-6  
     MS nG3]{z  
    sSr&:BOsi  
    光线追迹仿真 a]$1D!Anc  
    >,v`EIg  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EH- sZAv  
    •单击go！ \Q {m9fE  
    •获得了3D光线追迹结果。 im${3>26  
    SUMrFd~  
     !`M,XSp(  
    t0( A4E  
    光线追迹仿真 UBv,=v  
    To\QjP-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dhC$W!N7!  
    •单击go！ Ka'=o?'B5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O+nEXS\rQ  
    @T@< _ ?)  
     55G+;  
    ^8]NxV@l  
    场追迹仿真 5A,K6f@:g  
    Je';9(ZK  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 aR[JD2G  
    •单击go！ LHyB3V  
    Z@yW bjE7Z  
    $1SPy|y  
     |sa]F5  
    场追迹仿真（相机探测器） Ij 79~pn  
    KsddA  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V~UN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~b(i&DVK  
    ,D5cjaX<  
     biLs+\C  
    R$EW4]j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /~DI 6g  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zp6C3RG(  
    0!D4pvlt  
    3_C|z,\:  
     \Yy$MLs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2_)\a(.Qu  
     x" 7H5<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0}<|7?  
    O8f?; ]  
     !:)s"|=  
    f<-Jg  
    文件信息 LmRy1T,act  
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