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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-19
    摘要 |IN[uQ  
    \c% g M1  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V^sc1ak1Q  
    ^V .'^=l  
    Y{+3}drJE  
     G "brT5:  
    建模任务 \z:<DsQ&  
    o(fyd)t  
    F>-}*o  
    概述 ``4?a7!!  
    i*CnoQH  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9.s,:?5e  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (NaK3_  
    E}YI WTX  
     R6P\T\~E  
    2(+P[(N1,  
    光线追迹仿真 n NQ-"t  
    oKa>.e7.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U\bC0q   
    •单击go！ YlKFw|=  
    •获得了3D光线追迹结果。 D/:3R ZF  
    x<F$aXOS  
     H1&RI4XC  
    _ZyT3P&  
    光线追迹仿真 x7$ax79ly  
    kOI !~Qk  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  =:~(m  
    •单击go！ $^h?:L:1n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 QBihpA 1;  
    m\-PU z&C  
     /b%Q[ Ck_  
    $[z<oN_Q  
    场追迹仿真 YgimJsm  
    wOg,SMiq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 i}lRIXjdV  
    •单击go！ :<utq|#s  
    iLtc HpN  
    [r9d<Zi}{  
     y6%<zhs  
    场追迹仿真（相机探测器）  zy>}L #  
    "% Y u wMY  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 u)~s4tP4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x~+-VF3/  
    WeVi] n  
     J?D\$u:  
    s|2}2<+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S(t{&+Wc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?,XC =}  
    :Q- F9o J  
    P {H{UKs#  
     vr4S9`,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hW' HT  
     '9q6aM/&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c<jB6|.=2  
     SFpQ#  
     O-!,Jm   
    N`1r;%5  
    文件信息 ])N%^Qe$U  
    I%xn,u  
     :-Wv>V\t  
    '{VM> Q  
     
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