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摘要 jeyLL< 7`IpBm< 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YKbCdLQ
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Cp`j/rF 建模任务 {j {+0V ;|p$\26S)%  -7uwOr 概述 H2xeP%;$ F;lI+^}} •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h0oMTiA •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?; YC'bF "jecsqCgK0
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d8SE,A& 光线追迹仿真 qzw'zV GhY1k"; •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l:6,QaT1 •单击go！ 0qjXQs} •获得了3D光线追迹结果。 ' /Bidb? m]_FQWfet
 \? j E#^ X1[CX&Am 光线追迹仿真 .I VlEG0 5 )2:stT73 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +#b:d=v! •单击go！ z|7zj/+g •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (\"k&O{ be5,U\&z
 f W`&'! &bqT /H18 场追迹仿真 yq_LW>|Z MC 0TaP •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f"7M^1)h2% •单击go！ N$Y " c* . *$OQA  jEc|]E
,< <4* 场追迹仿真（相机探测器） hqk}akXt {
7 4mf'IW •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0w'j+ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 M L7 \BT %xlqF<
 =.|J!x x 5dWBGH 场追迹仿真（电磁场探测器） [ rNXQ` / •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }
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4E8JT#& 场追迹仿真（电磁场探测器） r4x3$M c
^ yh'lh/ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o!E v;' D Cp^@zw*/
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