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1. 摘要 SLI(;, s V
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|\ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 DAYR=s i3
?cL4 vlW521 CYkU- 2. 建模任务 d'p]F~a #GoZH?MAF
{nQ?+o3 OGA_3|[S 3. 干涉条纹的变化 X8m@xFW} sn>2dRW{
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: >aw`kr 4. 走进VirtualLab Fusion @q(sig00nr 5B:%##Ug5
b({K6#?'[ /sU~cn^D5 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 z?Hi
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z8VcV*6 E}qW' 6. VirtualLab Fusion 技术 v,}Mn7: ;,WI_iP(w
[:Upn)9 7. 文件信息 ?**9hu\BG VWLqJd>tr1
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