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1. 摘要 T fkGkVR RQ[/s
lg 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 %AtT(G(n 6;:D!},'c I}o}
#OJ ; U7P{e05 2. 建模任务 )-1e}VF(U qD\9h`a
1goRO f OR9 N/ 3. 干涉条纹的变化 %z1^ $z*"@
s@"|o3BX fap]`P~#L 4. 走进VirtualLab Fusion ](Wa:U}Xs |>xuH#Q
S'qT+pP =y@0il+V 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 QtG6v<A Ns1n|^9
HyWR&0J ;SjNZi)4d 6. VirtualLab Fusion 技术 /3rNX}tOMH HBvyX`-
BF2U$-k4 7. 文件信息 gsEcvkj* &dWGa+e
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