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1. 摘要 GG9YAu 8)NQt$lWp 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 l/wdu( ?!uj8&yyf kF1Tg KSd 3ih3O 2. 建模任务 1TOT}h5 oy;g;dtq
o \#C#NiT +9tm9<F8 3. 干涉条纹的变化 V5.=08L r Ljb'\<*
0xSWoz[i6~ $=IJ-_'o 4. 走进VirtualLab Fusion C:?mOM#_ 'l&),]|$)
wWaJ%z>3y &f;<[_QI= 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ]1^F THOXs;
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/^2&@P7 RRasX;zK 6. VirtualLab Fusion 技术 Z [aKic ik;S!S\v
BDO]-y 7. 文件信息 &4dh $w]q 6AA"JX
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