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摘要 @l5GBsLK imhE=6{ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @,]W 1F3Q^3+
kXlI*h :C,}DyZy 建模任务 /~c9'38 EVA&By6_k UQ@szE 光栅特性与参数的严格分析 e#F3KLSL` uf:'"7V7 不同光栅周期下的衍射效率 ,^eOwWV s|TO9N)pO
$'<$:;4b3 nHp$5|r< 关于光栅周期选择的考虑 5 [4{1v Dqd2e&a\
8=?U7aw t"e %'dFv 偏振相关的衍射特性 kr!>rqN5 (<}?}{YX0
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~d ~oC$=TC j8rxhToC 通过参数优化进行光栅设计 'UZ i>Ta LW">9;n 固定周期的2D参数优化 uX&h~qE/ %|j`;gYV
$Q,]2/o6n 2D参数优化–设计1 wub7w# ApplWa3
7;]IlR6 F5M|QX@- 2D参数优化–设计2 #cb9g 8H8Q
eiRVw5g \nL@P6X 制造公差分析–设计2 IMpL+W. QXEZ?gx
|W&K@g$ rL?{+S]&^) 变化光栅周期的3D参数优化 #BZ5Mxzj P*hYh5a
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<dz_7hR" 制造公差分析 f2v~: u ?g0dr?H
[=u@6Y G%h+KTw 走进VirtualLab Fusion uv{*f)j/d r|/9'{!
u9]M3> ft iAty0n VirtualLab Fusion中的工作流程 k RSY;V gI@nE:(m
_eH@G(W( s=z$;1C •构造光栅结构 Q^?$2ck= −通过使用界面来配置光栅结构 JxM32?Rm*w [用例] 'gsO}xj •分析光栅衍射效率 g|4>S<uC −光栅级次分析器[用例] XSx'@ qH •使用参数运行搜索初始解决方案 T/J1 b- −参数运行文档的使用[用例] A v;NQt8ut •通过参数优化找到最终设计 <Oy2JjY *0r!eD
VirtualLab Fusion技术 "39mhX2 -;i:bE
CL t(_!q [g+WL\1 文件信息 ^a!oq~ZSy 6r[pOl: >Tn[CgH]7 &iy7It
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