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摘要 n.,\Z(l|0
N\DEY] 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .hlr)gF&) t#oY|G3O}
TPp%II'* 0R<@* 建模任务 ]*U\ gm% qev1bBW Uf{cUY,j_ 光栅特性与参数的严格分析 Q4-d2I>0 R_.C,mR ? 不同光栅周期下的衍射效率 [zIX&fPk$ gKcP\m
"ji4xy =)"60R7{ 关于光栅周期选择的考虑 |4pE"6A wH~Q4)#=o
T5,/;e 'Wl))lB 偏振相关的衍射特性 ( }5k"9Z dx}()i\@
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EbuOPa s#?Y^bgH 通过参数优化进行光栅设计 pNr3u ^o,Hu# 固定周期的2D参数优化 %Y:'5\^lC 4vPQuk!
dgE|*1/0 2D参数优化–设计1 fyT:I6* 2X;,s`)
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"T?%4^:g (A\qZtnyl 制造公差分析–设计2 fyYT #r W@AZ<(RI:
k# ZO4 DY^q_+[V 变化光栅周期的3D参数优化 h&L+Qx "d/x`Dx
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.Gh-T{\V' $TtCVR 走进VirtualLab Fusion fOm=#:O EN` --^
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4l=! VirtualLab Fusion中的工作流程
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<w+K$WE { Cd#[b)d ?^ •构造光栅结构 #q9jFW8 −通过使用界面来配置光栅结构 /hOp>| [用例] 66fvS}x •分析光栅衍射效率 aRdk^|} −光栅级次分析器[用例] D&0*+6j(( •使用参数运行搜索初始解决方案 2Prr:k
−参数运行文档的使用[用例] P-ys$= •通过参数优化找到最终设计 lE`hC#m X2(TuR*t VirtualLab Fusion技术 J1YP-: Q*ZqY
\,!FL))yC ~ULuX"n 文件信息 .8uJ%'$) I{JU<A,& ",(-AU!a)h HtgVD~[]
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