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摘要 [tUv*jw % K7IyCcdB 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l8z%\p5cR
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 9Z&?R++? c~ P)4(udT 建模任务 Nd`HB=ShJ ZP"yq6!i  [#p&D~Du& 光栅特性与参数的严格分析 I(pb-oY3!I L 5+J
^ 不同光栅周期下的衍射效率 lDo(@nM Bg-VCJI<
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W. ^Ei\w/t 关于光栅周期选择的考虑 Qh\YR\O
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 sf`PV} a1 /I`3dWL 偏振相关的衍射特性 b\?3--q n!a<:]b<
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 i )8N(HN +{$QAjW(/ •构造光栅结构 ]GX \|1L
−通过使用界面来配置光栅结构 H-I{-Fm
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•分析光栅衍射效率 s]H^wrg&
−光栅级次分析器[用例] (e9fm|n!)|
•使用参数运行搜索初始解决方案 Y % Ieg.o
−参数运行文档的使用[用例] \G>Zk gU
•通过参数优化找到最终设计 KzphNHd 'e@=^FC VirtualLab Fusion技术 Qf
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