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薄膜设计与镀膜工艺 I nK)O'; 时间地点 %PdYv _5 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) hGo|2@sc 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) 8Pdnw/W 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) O#5( U.E 课程地点:上海讯技 ^?]H$e 课程讲师:讯技光电工程团队成员 z(X6%p0 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) J$/BH\ 课程简介: yW(+?7U 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 zomNjy* 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 T_%]#M 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 ^`MDP`M; sfPN\^k2 课程大纲: Y <k,E 1.Essential Macleod软件介绍 |<
FCt-U 1.1 介绍软件 ^QQNJ 1.2 创建一个简单的设计 >@Vr'kg+V 1.3 绘图和制表来表示性能 O Lup`~ 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 6:tr8 X_ 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) b{>dOI*.} 1.6 特定设计的公式技术 ;L%~c4`l~m 1.7 交互式绘图
F-,{+B66 2.光学薄膜理论基础 Tn-]0hWkP 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 5t?2B] 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 }Y ];ccT 3. 材料管理 TC{Qu;`H+U 3.1 材料模型 *9(1:N;# 3.2 介质薄膜光学常数的提取 9ufs6z 3.3 金属薄膜光学常数的提取 !D&MJThNy 3.4 基板光学常数的提取 c+/C7C o 4. 光学薄膜设计优化方法 HYmUxheN2 4.1 参考波长与g i O|,,;_ 4.2 四分之一规则 PSR`8z n 4.3 导纳与导纳图 ~RAH -] 4.4 斜入射光学导纳 +##I4vP 4.5 光学薄膜设计的进展 -%)
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4.6 Macleod软件的设计与优化功能 &it/@8yH 4.6.1 优化目标设置 z35Rjhj9 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) .LR>&N _U 4.6.3 膜层锁定和链接 aBi:S3 qk 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 R>&/n/l 5.1 减反射薄膜 6|cl`}g_j 5.2 分光膜 AK?j1Pk 5.3 高反射膜 Z x%@wH~ 5.4 干涉截止滤光片 #e>MNc
'z 5.5 窄带滤光片 `3oP^# 5.6 负滤光片 hP<qK Vy 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 ta.,4R&K 5.8 仿生蛾眼/复眼结构 j1+Y=@MA 5.9 颜色膜 >v,j;[( 5.10 Vstack薄膜设计示例 U/o}{,$A 5.11 Stack应用范例说明 Pp hQa!F$ 6. 薄膜性能分析 r/L]uSN 6.1 电场分布 nW'x#0- 6.2 公差与灵敏度分析 ~GYtU9s5 6.3 反演工程 Lta\AN!c 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 *S_Iza #&x 7. 真空技术 %]oLEmn}y 7.1 常用真空泵介绍 o|q#A3%? 7.2 真空密封和检漏 7b2<,
.E 8. 薄膜制备技术 BmXGk 8.1 常见薄膜制备技术 L(8dK 9. 薄膜制备工艺 ,`@|C
Z-4A 9.1 薄膜制备工艺因素 RhmVHhj 9.2 薄膜均匀性修正技术 f"^tOgGH 9.3 光学薄膜监控技术 $7d"9s\$" 10. 激光薄膜 UOOme)\> 10.1 薄膜的损伤问题 ]bweQw@i 10.2 激光薄膜的制备流程 !;Nh7vG 10.3 激光薄膜的制备技术 K*FAngIB 11. 光学薄膜特性测量 rtE,SN 11.1 薄膜光谱测量 BG=_i#V 11.2 薄膜光学常数测量 'v
X"l 11.3 薄膜应力测量 zUqDX{I8 11.4 薄膜损伤测量 L9oZ7 o 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 u`|fmVI
j]&{ @Y 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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