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摘要 f8B*D4R} !c\s)&U7B 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 x{&0:|bCs6 vWXj6}
^Qs-@]E- 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 6 7~m9pk oy;N3 建模任务 4Q,HhqV' v'2EYTVNJD
bv)E>%Yy Z"mpE+U* 单次FMM仿真结果 7E%ehM6Y \# lh b
+d2+w1o^V A!ba_14 参数扫描(1D) =uYSZR Q{0-pHr}
psta&u\ q {Ejv8UdA9 参数扫描(2D)
ACU0 jcYI"f"~ UFyGp>/06 o`DBzC 文件信息 GQ$0`?lp d_QHm;}Cx
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