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摘要 Il.Ed-&62 . |*f!w}5 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 pdd/D |
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*Ywpz^2?: 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 1+`l7'F 0N=X74 建模任务 .lhn;*Yi
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|+ge8uu?C w#i[_ 单次FMM仿真结果 @5)
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27ckdyQx 1xf=_F0`& 参数扫描(1D) ENh!N4vbO |_u8mV
*]J dHO UueD(T;p 参数扫描(2D) l!E7AKk8 #[MJ|^\i (SVWdgb ]<DNo&fw 文件信息 ZV}X'qGaq _B2V "p
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