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摘要 v/ 0QOp
fk[ -mZ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 #A Sz;$P
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 8'.Hyy@; 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） 7he,?T)vD
Lh"<XYY 建模任务 iNz=e=+Si
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 -MO#]K3< :q7Wy&ow 单次FMM仿真结果 |vwVghC
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 u\x}8pn :P\7iW 参数扫描（1D） dvx#q5f_S
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 # E^1|: y$F'(b| ) 参数扫描（2D） !/*\}\'4 #$+*;  BB $>h} i2A81>68< 文件信息 eRst D>r
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