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摘要 (3z: ; |0nbO2} 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 g;)xf?A9q OMG.64DX .
-FA]%Pl<' 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) !%b.k6%>w [OFg
(R- 建模任务 NQefrof G4g<PFx
^)=c74;; \z!*)v/{- 单次FMM仿真结果 A[L+w9 yP2[!vYw
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