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摘要 hZ[(Ik]*Zd [ ,&O 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 A_4.>g 8v ZY+Q >
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4 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ^pysoaZCT_ R PB%6z$ 建模任务 ^H(,^cVN F"ua`ercI
= pCO1<wR m-HL7&iG$ 单次FMM仿真结果 L25v7U !U"?vS l
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